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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

摘要：本发明公开一种用于电子束曝光机的晶圆定位装置及定位方法，装置包括载片台和晶圆夹具；载片台包括底板，进片导轨和自锁坡分别对称设置在底板两侧，自锁坡位于进片导轨内侧并靠近限位墙，第一定位凸台位于自锁坡内侧，限位墙和传片口相对设置在底板两端，限位墙上设有限位组件，实现晶圆在X、Y和Rz方向的定位；晶圆夹具的夹具主体上设有导向滚轮、定位滚轮和第二定位凸台；当导向滚轮带动晶圆夹具沿着进片导轨移动时，定位滚轮带动晶圆夹具沿着自锁坡先抬高后下降，晶圆夹具下降时，第二定位凸台停留在第一定位凸台上，实现晶圆在Z、Rx和Ry方向的定位。本发明具有操作便捷、定位精度高的特点，满足电子束曝光机的特殊工况使用需求。

主权项：1.一种用于电子束曝光机的晶圆定位装置，其特征在于，包括载片台100和晶圆夹具200；所述载片台100包括底板101，以及设置在底板101上的进片导轨102、自锁坡103、第一定位凸台104、限位墙105和传片口108，两条所述进片导轨102和两个所述自锁坡103分别对称设置在底板101两侧，所述自锁坡103呈梯形结构，自锁坡103位于进片导轨102内侧并靠近限位墙105，多个所述第一定位凸台104均布在底板101上，并位于自锁坡103内侧，所述限位墙105和传片口108相对设置在底板101的两端，所述限位墙105两侧设有限位组件，以用于实现搭载晶圆的晶圆夹具200在X、Y和Rz方向的定位；所述晶圆夹具200包括夹具主体201，所述夹具主体201上设有导向滚轮、定位滚轮204和第二定位凸台205，所述导向滚轮与进片导轨102相匹配，用于辅助晶圆夹具200搭载晶圆进出载片台100，所述定位滚轮204与自锁坡103相匹配，所述第一定位凸台104与第二定位凸台205相匹配；当导向滚轮带动晶圆夹具200从传片口108沿着进片导轨102朝向限位墙105移动的过程中，定位滚轮204带动晶圆夹具200沿着自锁坡103先抬高后下降，在晶圆夹具200沿着自锁坡103下降的过程中，第二定位凸台205停留在第一定位凸台104上，以实现搭载晶圆的晶圆夹具200在Z、Rx和Ry方向上的定位。

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