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申请/专利权人：苏斯微技术光刻有限公司
摘要：本发明涉及一种用于基板101的保持装置100，特别是卡盘，包括：具有上面105的主体103；载体元件107，其中载体元件107被布置在主体103的凹部109中以便可垂直移动，使得它可以在突出的装载位置和缩回的夹紧位置之间调节，并且其中载体元件107包括：用于放置基板101的支撑表面111，其中支撑表面111具有比主体103的直径更小的直径；以及将载体元件107提升到装载位置的提升元件，其中，载体元件107将凹部109密封，使得在主体103和载体元件107之间设置密封腔113，该腔113可以具有施加于此的负压，其抵消了提升元件的影响。
主权项：1.一种用于基板101的保持装置100，包括：主体103，所述主体103包括上面105，载体元件107，其中，所述载体元件107被布置在所述主体103的凹部109中以便可垂直移动，使得载体元件107可以在突出的装载位置和缩回的夹紧位置之间调节，并且其中，所述载体元件107包括用于放置所述基板101的支撑表面111，其中，所述支撑表面111具有比所述主体103的直径更小的直径，以及提升元件，所述提升元件将所述载体元件107升高到所述装载位置，其中，所述载体元件107将所述凹部109密封，使得在所述主体103和所述载体元件107之间提供密封腔113，所述腔可以具有施加于此的负压，所述负压抵消了所述提升元件的影响，并且其中，设置有间隔件117a，117b，所述间隔件117a，117b限定了所述载体元件107的夹紧位置，在所述夹紧位置，所述载体元件107的支撑表面111被布置为与所述主体103的上面105基本齐平。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏斯微技术光刻有限公司 用于保持基板的保持装置和方法
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