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一种具有矩形双环电极结构的石英晶体谐振器 

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申请/专利权人:西安电子科技大学

摘要:本发明提供一种具有矩形双环电极结构的石英晶体谐振器,涉及谐振器技术领域。此石英晶体谐振器包括:石英晶片、上金属电极和下金属电极,上金属电极设置在石英晶片的上表面,下金属电极设置在石英晶片的下表面,经过石英晶片几何中心的法线、经过上金属电极几何中心的法线和经过下金属电极几何中心的法线三者保持重合,上金属电极为一矩形双环状电极,包括第一矩形内环状电极和第一矩形外环状电极,第一矩形内环状电极和第一矩形外环状电极同心设置,下金属电极为一矩形双环状电极,包括第二矩形内环状电极和第二矩形外环状电极,第二矩形内环状电极和第二矩形外环状电极同心设置。这样,石英晶体谐振器表面的振动位移实现了近似均匀。

主权项:1.一种具有矩形双环电极结构的石英晶体谐振器,其特征在于,所述石英晶体谐振器包括:石英晶片、上金属电极和下金属电极;所述上金属电极设置在所述石英晶片的上表面,所述下金属电极设置在所述石英晶片的下表面,经过石英晶片几何中心的法线、经过上金属电极几何中心的法线和经过下金属电极几何中心的法线三者保持重合,所述石英晶片为正方形;所述上金属电极为一矩形双环状电极,包括第一矩形内环状电极和第一矩形外环状电极,所述第一矩形内环状电极和所述第一矩形外环状电极同心设置,所述下金属电极为一矩形双环状电极,包括第二矩形内环状电极和第二矩形外环状电极,所述第二矩形内环状电极和所述第二矩形外环状电极同心设置;所述矩形双环状电极的长度沿第一方向,宽度沿第二方向,所述第一方向为所述石英晶体谐振器振动位移的方向,所述第二方向为在同一水平面上与所述第一方向所垂直的方向;所述第一矩形内环状电极的内宽与内长比为0.8,所述第一矩形内环状电极的外宽与外长比为0.8;所述第一矩形外环状电极的内宽与内长比为0.8,所述第一矩形外环状电极的外宽与外长比为0.8;所述上金属电极和所述下金属电极材料的厚度均为200nm;所述第一矩形内环状电极的内长为0.85mm,所述第一矩形内环状电极的外长为1.2mm,所述第一矩形外环状电极的内长为2mm,所述第一矩形外环状电极的外长为3mm,所述第二矩形内环状电极的内长为0.85mm,所述第二矩形内环状电极的外长为1.2mm,所述第二矩形外环状电极的内长为2mm,所述第二矩形外环状电极的外长为3mm;所述第一矩形内环状电极的内宽为0.68mm,所述第一矩形内环状电极的外宽为0.96mm,所述第一矩形外环状电极的内宽为1.6mm,所述第一矩形外环状电极的外宽为2.4mm,所述第二矩形内环状电极的内宽为0.68mm,所述第二矩形内环状电极的外宽为0.96mm,所述第二矩形外环状电极的内宽为1.6mm,所述第二矩形外环状电极的外宽为2.4mm。

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