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一种石英舟托架 

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申请/专利权人:浙江泓芯半导体有限公司

摘要:本实用新型公开的一种石英舟托架,包括用于放置石英玻璃的托架板,托架板两侧均固定安装有抬杆,托架板上表面开设有拉伸槽,拉伸槽内设置有吸盘,吸盘下表面连接有吸附控制机构并从拉伸槽内贯穿至抬杆内,从抬杆外表面的下端贯穿出,吸盘外表面固定安装有紧固盘,紧固盘固定安装在托架板的上表面处,使吸盘与拉伸槽底部具有延伸空间。本实用新型通过吸附控制机构和吸盘的设计,对石英玻璃施加吸固力,使托运石英玻璃的过程中能够将石英玻璃稳固的吸附在托架板上表面处,从而避免石英玻璃在托架板上出现滑偏滑落的情况出现,使托运石英玻璃的过程中具有稳定性。

主权项:1.一种石英舟托架,其特征在于,包括用于放置石英玻璃的托架板1,所述托架板1两侧均固定安装有抬杆2,所述托架板1上表面开设有拉伸槽101,所述拉伸槽101内设置有吸盘3,所述吸盘3下表面连接有吸附控制机构4并从拉伸槽101内贯穿至抬杆2内,从抬杆2外表面的下端贯穿出。

全文数据:

权利要求:

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