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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学;湖南天羿领航科技有限公司
摘要：本申请涉及一种全量程真空计及其测试方法。所述真空计包括：敏感模块、控制模块以及数据处理模块，敏感模块包括多个尺寸互异的敏感单元，在控制模块输出的不同的测试模态驱动下，利用敏感单元分别采用频率响应法、频率漂移法测量测量低真空和中真空的测试区间，利用多个尺寸互异的敏感单元，采用衰减法和PID控制法测量高真空的测试区间，数据处理模块持续采集敏感单元在不同测试模态下的输出参数，根据输出参数计算测试环境的实际压力值。采用本方法能够实现真空度的全量程测量。
主权项：1.一种全量程真空计，包括：敏感模块、控制模块以及数据处理模块；所述敏感模块包括多个尺寸互异的敏感单元；在所述控制模块输出的不同的测试模态驱动下，所述敏感单元包括多个测试模态；根据多个所述测试模态和多个尺寸互异的敏感单元，分别采用频率响应法、频率漂移法测量低真空和中真空的测试区间，采用衰减法和PID控制法测量高真空的测试区间；所述数据处理模块持续采集所述敏感单元在不同测试模态下的输出参数，根据输出参数计算测试环境的实际压力值；所述敏感单元包括盖板保护层、运动部件层以及下电极层；所述下电极层包括驱动电极和敏感电极；所述驱动电极驱动所述运动部件层产生相对运动；所述运动部件包括：质量块、敏感轴和固定锚点；所述质量块的数量为一个或者偶数个；所述质量块的形状沿着所述敏感轴的轴向呈全对称分布；所述质量块的表面设置压膜阻尼面；通过调整所述压膜阻尼面的尺寸或者在所述质量块的表面刻蚀阻尼孔，调节衰减法的测量范围和灵敏度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 湖南天羿领航科技有限公司 一种全量程真空计及其测试方法
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