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申请/专利权人：佛山市佛欣真空技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种双炉体高真空阀门结构及真空镀膜设备，包括过渡腔体，过渡腔体侧面设有第一连接口，所述过渡腔体的两端均设有高真空挡板阀，所述高真空挡板阀包括真空腔体、阀板和驱动单元，所述阀板垂直于水平面设置于所述真空腔体内，所述真空腔体设有第二连接口，所述驱动单元用于驱动所述阀板靠近或者远离所述过渡腔体进而实现真空腔体与过渡腔体通断的功能。两组高真空阀可以同时开启、同时关闭或者只开启任意1个，开启方式灵活多变，两个真空腔体互不干扰，可以实现两个腔体共用1套高真空机组减少成本，大幅降低能耗，绿色制造，同时两个腔体可以独立抽真空与放大气。
主权项：1.一种双炉体高真空阀门结构，其特征在于，包括：过渡腔体100，其侧面设有第一连接口110，用于连接过渡腔体100与高真空泵，所述过渡腔体100的两端均设有高真空挡板阀200，所述高真空挡板阀200包括真空腔体210、阀板220和驱动单元230，所述阀板220垂直于水平面设置于所述真空腔体210内，所述真空腔体210设有第二连接口212，用于连接高真空挡板阀200与炉体，所述驱动单元230用于驱动所述阀板220靠近或者远离所述过渡腔体100进而实现真空腔体210与过渡腔体100通断的功能。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山市佛欣真空技术有限公司 双炉体高真空阀门结构及真空镀膜设备
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