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申请/专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
摘要：本发明公开了一种真空镀膜室，包括用于容纳产品的镀膜腔室，镀膜腔室内安装有一个以上阴极装置，至少一个阴极装置设有遮挡装置，遮挡装置包括分设于阴极装置两侧的两个隔挡机构，隔挡机构包括隔板和隔挡驱动组件，隔挡驱动组件与隔板相连并能驱动隔板运动以调节隔板与镀膜腔室内产品的距离，两个隔挡机构的隔板与镀膜腔室内壁围成开口朝向镀膜腔室内产品的凹腔，阴极装置位于凹腔内。该真空镀膜室具有可提高镀膜质量、使用灵活性好、结构简单紧凑、成本低、易于制作装配、控制简便等优点。
主权项：1.一种真空镀膜室，包括用于容纳产品（100）的镀膜腔室（1），所述镀膜腔室（1）内安装有一个以上阴极装置（2），其特征在于：至少一个所述阴极装置（2）设有遮挡装置，所述遮挡装置包括分设于阴极装置（2）两侧的两个隔挡机构，所述隔挡机构包括隔板（3）和隔挡驱动组件（4），所述隔挡驱动组件（4）与所述隔板（3）相连并能驱动隔板（3）运动以调节隔板（3）与所述镀膜腔室（1）内产品（100）的距离，两个隔挡机构的隔板（3）与镀膜腔室（1）内壁围成开口朝向镀膜腔室（1）内产品（100）的凹腔（30），所述阴极装置（2）位于所述凹腔（30）内。
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