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申请/专利权人：恩智浦美国有限公司
摘要：一种MEMS装置包括衬底、一组弹簧和悬置在所述衬底上方且通过所述弹簧联接到所述衬底的质量块。每一弹簧包括所述衬底上的对应的锚定件和远离所述锚定件延伸的横杆。每一横杆具有：固定端，其通过第一连杆在所述横杆的靠近所述锚定件的一端处联接到所述锚定件；及自由端，其通过第二连杆在所述横杆的远离所述锚定件的一端处联接到所述质量块。所述锚定件围绕所述质量块的中心对称地布置。所述质量块相对于所述衬底竖直地平移，且当所述质量块朝向所述衬底的竖直位移达到预定义值时，每一弹簧的所述自由端接触所述衬底且防止所述质量块接触所述衬底。
主权项：1.一种微机电系统MEMS装置，其特征在于，包括：衬底；一组弹簧组合件；及质量块，其悬置在所述衬底上方，且通过所述一组弹簧组合件联接到所述衬底，并被配置成当所述质量块经受沿着竖直方向的加速力时沿着所述竖直方向朝向和远离所述衬底移动；其中属于所述一组弹簧组合件的每一弹簧组合件包括：锚定件，其安置在所述衬底上；横杆，其具有固定端和自由端，其中所述固定端联接到所述衬底，且所述自由端相对于所述质量块自由竖直平移并相对于所述衬底自由竖直平移；第一连杆，其将所述横杆的所述固定端联接到所述锚定件；及第二连杆，其在所述横杆的所述固定端与所述自由端之间的位置处将所述横杆联接到所述质量块；其中每一弹簧组合件的所述锚定件沿着围绕所述质量块的中心定中心的圆形路径对称地安置；其中，当所述质量块静止时，所述弹簧组合件安置在所述质量块中的开口内；其中每一弹簧组合件的所述横杆从所述弹簧组合件的所述锚定件朝向所述质量块的对应的拐角延伸，且每一弹簧组合件的所述横杆的长轴朝向所述质量块的所述中心定向；且其中所述弹簧组合件和所述质量块共同地被配置成使得当所述质量块朝向所述衬底的竖直位移达到预定义值时，每一弹簧组合件的所述自由端接触所述衬底且防止所述质量块接触所述衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 恩智浦美国有限公司 具有竖直止动件的MEMS加速计
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