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申请/专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
摘要：本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中，包括更换了物镜的情况在内，简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进行调整，使得出现有所使用的物镜的干涉条纹的z轴上的位置与摄像元件的焦点位置的相对位置之差处于规定的范围。
主权项：1.一种三维形状计测方法，对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状，其特征在于，在根据对基于所述干涉信号的干涉条纹进行拍摄的摄像元件的焦点位置与所述干涉条纹的出现位置之间的距离的差来进行位置调整时，使所述摄像元件的位置移动而进行位置调整，以使所述距离的差为规定的值以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本株式会社日立高新技术科学 三维形状计测方法和三维形状计测装置
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