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申请/专利权人：成都华特邦芯精密电子有限公司
摘要：本发明涉及真空泵技术领域，公开了一种多级可调真空度的干式真空泵，包括：第一级泵与第二级泵；第一级泵包括第一级螺杆泵体、泵盖与泵座，第一级螺杆泵体分别与泵座、泵盖密封连接，第一级螺杆泵体的内部设置有驱动螺杆与从动螺杆，驱动螺杆的轮叶与从动螺杆的轮叶错位布置且留有间隙；泵座内设置有与进气管相通的前置腔室，前置腔室通过第一级进气道与驱动螺杆的进气端连通，前置腔室通过第二级进气道与第二级泵的进气端连通。本发明的干式真空泵集合了螺杆真空泵与其他真空泵的共同优势，既可以单独使用螺杆真空泵以及爪式泵活塞泵罗茨泵，也可以与设置在其一体的其他泵共同配合作业，实现一台真空泵可以满足多种真空度需求。
主权项：1.一种多级可调真空度的干式真空泵，其特征在于，包括：第一级泵与第二级泵2；所述第一级泵包括第一级螺杆泵体10、泵盖11与泵座12，所述第一级螺杆泵体10分别与所述泵座12、泵盖11密封连接，所述第一级螺杆泵体10的内部设置有驱动螺杆101与从动螺杆102，所述驱动螺杆101的轮叶与所述从动螺杆102的轮叶错位布置且留有间隙；所述驱动螺杆101固定连接有主动轴103，所述从动螺杆102固定连接有从动轴104，所述泵座12内设置有主动齿轮105与从动齿轮，所述主动轴103穿过所述主动齿轮105的中心孔与驱动电机13连接，所述从动轴104插接固定在所述从动齿轮的中心孔中，所述从动齿轮与所述主动齿轮105相啮合；所述泵座12内设置有与进气管15相通的前置腔室121，所述前置腔室121通过第一级进气道122与所述驱动螺杆101的进气端连通，所述前置腔室121通过第二级进气道123与所述第二级泵2的进气端连通；所述泵盖11上设置有排气道111，所述排气道111位于所述驱动螺杆101的排气端。
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权利要求：
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