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申请/专利权人：珠海基石科技有限公司
摘要：本申请实施例提供了图案化材料组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法。本申请实施例提供的图案化材料组合物含有特定的添加剂，可有效抑制含光产酸剂的图案化材料组合物在长时间储存下的老化以及高温老化，利于上述图案化材料组合物的应用。具有较高的实用价值，利于高性能半导体器件产业的发展。
主权项：1.一种图案化材料组合物，其特征在于，包括功能树脂、光致产酸剂、添加剂和溶剂；其中，所述添加剂包括如式Ⅰ所示的化合物： 式Ⅰ；其中，所述R1、R2各自独立地选自氢原子、烃基、烷氧基、含酯基的基团、含酮羰基的基团、羟基和含醚键的基团；其中，所述烃基包括烷基、烯基、炔基、脂环基、芳基中的一种或多种。
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权利要求：
百度查询： 珠海基石科技有限公司 图案化材料组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法
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