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一种点接触半导体石英舟加工装置 

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申请/专利权人:连云港亮迪石英科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种点接触半导体石英舟加工装置,涉及石英舟加工装置技术领域,包括底座和打磨台,所述打磨台的上端设置有清理机构,所述底座的上端固定安装有顶板,所述底座的一端设置有收集机构,所述清理机构包括凹型座,所述凹型座的前后端均开设有长槽,两组所述长槽的内部均滑动安装有长块,两组所述长槽的内部一侧壁均固定安装有支撑弹簧,所述凹型座的内部一侧壁设置有刮板,所述凹型座的上端且靠近前后边缘位置处均设置有长板,两组所述长块的一端均固定安装有连接块。本实用新型,能够对打磨台上的废屑进行清理,防止后续加工对石英舟板的底面造成磨损,影响到石英舟板的质量。

主权项:1.一种点接触半导体石英舟加工装置,包括底座(1)和打磨台(3),其特征在于:所述打磨台(3)的上端设置有清理机构(4),所述底座(1)的上端固定安装有顶板(2),所述底座(1)的一端设置有收集机构(5),所述清理机构(4)包括凹型座(41),所述凹型座(41)的前后端均开设有长槽(42),两组所述长槽(42)的内部均滑动安装有长块(43),两组所述长槽(42)的内部一侧壁均固定安装有支撑弹簧(44),所述凹型座(41)的内部一侧壁设置有刮板(45),所述凹型座(41)的上端且靠近前后边缘位置处均设置有长板(46),两组所述长块(43)的一端均固定安装有连接块(47),所述刮板(45)的下端倾斜角度为30°,所述刮板(45)的下端与打磨台(3)的下端紧密接触。

全文数据:

权利要求:

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