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一种碳化硅石英复合舟托 

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申请/专利权人:宁波伏尔肯科技股份有限公司

摘要:本实用新型提供了一种碳化硅石英复合舟托,包括舟托主体和多个舟脚,所述舟托主体的材质为碳化硅,所述舟脚的材质为石英,所述舟托主体的底部设有多个支座,所述舟脚数量与所述支座相同,所述支座上设有装配缺口,所述舟脚设置在所述装配缺口对应位置并与所述支座固定连接。本实用新型设计了一种碳化硅石英复合材料的舟托,舟托主体为碳化硅材料,材料热稳定性能好,使用寿命长;舟托与石英炉管接触的舟脚采用石英材料,由石英舟脚与石英炉管同材质接触,可以有效防止舟脚损伤炉管,从而避免出现损伤部位应力集中的问题,保证石英炉管的使用寿命。

主权项:1.一种碳化硅石英复合舟托,其特征在于,包括舟托主体1和多个舟脚2,所述舟托主体1的材质为碳化硅,所述舟脚2的材质为石英,所述舟托主体的底部设有多个支座13,所述舟脚2数量与所述支座13相同,所述支座13上设有装配缺口14,所述舟脚2设置在所述装配缺口14对应位置并与所述支座13固定连接。

全文数据:

权利要求:

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