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半导体器件、半导体模块和制造方法 

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申请/专利权人:日立能源有限公司

摘要:在一个实施例中,一种半导体器件1包括:·‑被配置用于至少0.6kV的电压的半导体芯片2,该半导体芯片包括位于芯片顶侧20处的顶部接触区域21,·‑与顶部接触区域21电接触的第一电布线层3,该第一电布线层具有被电分配给顶部接触区域21的第一接触区域31,·‑第二电布线层4,该第二电布线层位于第一电布线层3的远离顶部接触区域21的一侧上并且具有被电分配给顶部接触区域31的第二接触区域42,这些第二接触区域42被配置为外部接触区域,·‑至少一个第三电布线层5,至少一个第三电布线层位于第一电布线层3与第二电布线层4之间并与它们电连接并且具有第三接触区域53,·在芯片顶侧20的俯视图中所见,第二接触区域42中的至少一个以与顶部接触区域21中被分配的一个不同的方式成形。·‑半导体芯片2是功率金属绝缘体场效应晶体管MISFET或功率绝缘栅双极晶体管IGBT,·‑第一布线层3、第二布线层4和第三布线层5在每种情况下均通过由介电材料制成的绝缘层61、62、63彼此分开,并且其中,在芯片顶侧20的俯视图中所见,第二接触区域42中的第一者围绕第二接触区域42中的第二者完全延伸。

主权项:1.一种半导体器件1,所述半导体器件包括:-半导体芯片2,被配置用于至少0.6kV的电压,所述半导体芯片包括位于芯片顶侧20处的顶部接触区域21,-第一电布线层3,与所述顶部接触区域21电接触,所述第一电布线层具有被电分配给所述顶部接触区域21的第一接触区域31,-第二电布线层4,所述第二电布线层位于所述第一电布线层3的远离所述顶部接触区域21的一侧上并且具有被电分配给所述顶部接触区域31的第二接触区域42,所述第二接触区域42被配置为外部接触区域,以及-至少一个第三电布线层5,所述至少一个第三电布线层位于所述第一电布线层3与所述第二电布线层4之间并与所述第一电布线层3和所述第二电布线层4电连接,并且具有第三接触区域53,其中,-在所述芯片顶侧20的俯视图中所见,所述第二接触区域42中的至少一个第二接触区域以与所述顶部接触区域21中被分配的一个顶部接触区域不同的方式成形,-所述半导体芯片2是功率金属绝缘体场效应晶体管MISFET或功率绝缘栅双极晶体管IGBT,-所述第一、第二和第三布线层3、4、5在每种情况下均通过由介电材料制成的绝缘层61、62、63彼此分开,并且-在所述芯片顶侧20的俯视图中所见,所述第二接触区域42中的第一者围绕所述第二接触区域42中的第二者完全延伸。

全文数据:

权利要求:

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