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申请/专利权人：合肥清溢光电有限公司
摘要：本发明涉及光刻机曝光校准，具体涉及一种基于标准校准文件的曝光图形位置偏差校准方法，利用光刻机机台曝光制作均匀分布位置识别点的金版；分别测量得到金版处于不同方位下各位置识别点对应的位置测量值，并计算得到金版的整版位置偏差；按照预设规律对整版位置偏差中的数据进行排布，即可得到标准校准文件；根据标准校准文件对光刻机机台曝光形成的图形位置偏差进行校准；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的不能对光刻机机台曝光形成的图形位置偏差进行有效校准的缺陷。
主权项：1.一种基于标准校准文件的曝光图形位置偏差校准方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、利用光刻机机台曝光制作均匀分布位置识别点的金版；S2、分别测量得到金版处于不同方位下各位置识别点对应的位置测量值，并计算得到金版的整版位置偏差；S3、按照预设规律对整版位置偏差中的数据进行排布，即可得到标准校准文件；S4、根据标准校准文件对光刻机机台曝光形成的图形位置偏差进行校准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥清溢光电有限公司 一种基于标准校准文件的曝光图形位置偏差校准方法
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