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申请/专利权人：苏州捷专企业管理有限公司
摘要：本实用新型提供一种细线宽电极栅线图形化显影设备，该显影设备包括两个显影段和传送机构，两个显影段中的至少一个设置有多功能显影槽。多功能显影槽包括浸润机构和喷淋机构；浸润机构包括进液口、第一溢流口、第二溢流口、第三溢流口和浸润管路；喷淋机构包括喷嘴、不同高度和距离的支撑架、喷淋管路和安装座。本实用新型通过设置两个独立的显影段和多功能显影槽，并对显影槽结构进行改进，实现多种功能高效协同，使显影液更加易于达到栅线凹槽底部，避免了感光胶残留，解决了显影不洁的问题；同时通过对支撑架高度和不同的安装距离的改进，使其能够适应不同硅片和硅片的不同部位的显影需求，提高了细线宽电极栅线的图形化影效果。
主权项：1.一种细线宽电极栅线图形化显影设备，用于对硅片进行图形化显影，其特征在于，包括：两个显影段，分别设置有独立的显影槽和控制系统，两个所述显影段中的至少一个设置有多功能显影槽；所述多功能显影槽能够同时进行浸润显影和喷淋显影；传送机构，所述传送机构将两个所述显影段连通，将所述硅片自一个所述显影段传送至另一所述显影段。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州捷专企业管理有限公司 一种细线宽电极栅线图形化显影设备
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