龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：杭州新诺微电子有限公司
摘要：本发明公开了一种双台面LDI系统的曝光方法，双台面LDI系统中包括第一LDI机和第二LDI机，且每个LDI机中均包含两个曝光台面，曝光方法包括：第一LDI机对内层板的第一表面曝光，并对内层板的第二表面打标形成打标点；第一LDI机和第二LDI机交互传输内层板在第一LDI机的第一曝光台面信息；第二LDI机通过第一曝光台面信息、内层板的尺寸参数、第二曝光台面信息，确定曝光补偿量，并基于打标点确定内层板第二表面的曝光位置；第二LDI机根据曝光位置和曝光补偿量，对内层板的第二表面进行曝光。本申请中将两个LDI机之间的曝光引擎进行信息交互，降低内层板上下两个表面曝光的层偏，提升内层板曝光精度。
主权项：1.一种双台面LDI系统的曝光方法，其特征在于，所述双台面LDI系统中包括第一LDI机和第二LDI机，且每个LDI机中均包括两个曝光台面，所述曝光方法包括：将内层板置于所述第一LDI机的曝光台面上，对所述内层板的第一表面曝光，并对所述内层板的第二表面打标形成打标点；将所述内层板转移到所述第二LDI机的曝光台面上，并通过所述第一LDI机的曝光引擎向所述第二LDI机的曝光引擎传输所述内层板在所述第一LDI机的曝光台面信息；所述第二LDI机的曝光引擎通过所述曝光台面信息包含的第一曝光台面信息和所述内层板的尺寸参数，结合第二曝光台面信息，确定曝光补偿量；并根据所述打标点的位置坐标确定所述内层板的第二表面的曝光位置；其中，所述第一曝光台面信息和所述第二曝光台面信息分别为所述内层板在所述第一LDI机上和第二LDI机上曝光所在曝光台面的信息；所述第二LDI机根据所述曝光位置和所述曝光补偿量，对所述内层板的第二表面进行曝光；确定所述曝光补偿量的过程，包括：根据所述第一曝光台面信息和所述第二曝光台面信息，结合预先确定的第一LDI机中每个曝光台面和第二LDI台面中每个曝光台面之间的固定涨缩和补偿参数，确定第一曝光台面和第二曝光台面之间对应的固定涨缩和补偿参数；根据所述固定涨缩、所述补偿参数以及所述内层板的尺寸参数确定所述曝光补偿量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州新诺微电子有限公司 一种双台面LDI系统的曝光方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号