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申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要：本发明公开了一种用于阻焊LDI的环境温度协同控制方法，所述方法包括S1：在冷机状态时，将调速风机档位设置为一档，同时采用水冷机实时调节环境温度，S2：通过温度传感器获取十组环境温度，求取平均值作为当前环境温度值Ten，S3：将Ten与所需控制的目标温度Ttarget1进行比较，根据不同比较结果调节水冷机温度，S4：开始曝光时，自动切换打开顶置环控功能，S5：记录下冷机向热机切换时的水冷机设定温度Tcooler、切换时的环境温度Ttarget2及实时环境温度值依然记为Ten，根据Ttarget2与Ten的差值来调整风机挡位及水冷机温度；该用于阻焊LDI的环境温度协同控制方法，可自适应调整环境温度，有效改善了环境温度的大幅度变化对光刻精度的影响。
主权项：1.一种用于阻焊LDI的环境温度协同控制方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：S1：在冷机状态时，将调速风机档位设置为一档，同时采用水冷机实时调节环境温度；S2：通过温度传感器获取十组环境温度，求取平均值作为当前环境温度值Ten；S3：将Ten与所需控制的目标温度Ttarget1进行比较，根据不同比较结果调节水冷机温度；S4：开始曝光时，自动切换打开顶置环控功能；S5：记录下冷机向热机切换时的水冷机设定温度Tcooler、切换时的环境温度Ttarget2及实时环境温度值依然记为Ten，根据Ttarget2与Ten的差值来调整风机挡位及水冷机温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种用于阻焊LDI的环境温度协同控制方法
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