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申请/专利权人：杭州欣俊哲微纳科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种单工作台面运动平台及LDI曝光机，涉及激光直接成像设备技术领域。该运动平台，包括基座，所述基座上设置有运动控制系统，所述运动控制系统包括运动平台，所述运动平台上设置有一个工作台面，所述运动平台从上到下依次设有驱动所述工作台面分别沿Z轴、X轴和Y轴滑动的第一驱动模块、第二驱动模块和第三驱动模块；所述基座上还设置有龙门机构，所述龙门机构上分别设置有用于对工作台面进行曝光以及标定的曝光系统和视觉标定系统。通过本实用新型得到的单工作台面运动平台结构提高了运动平台自身的运动精度和基于该运动平台的LDI曝光机的整体精度。
主权项：1.一种单工作台面运动平台，其特征在于，包括基座（1），所述基座（1）上设置有运动控制系统（3），所述运动控制系统（3）包括运动平台（3-1），所述运动平台（3-1）上设置有一个工作台面（6），所述运动平台（3-1）从上到下依次设有驱动所述工作台面（6）分别沿Z轴、X轴和Y轴滑动的第一驱动模块（3-11）、第二驱动模块（3-12）和第三驱动模块（3-13）；所述基座（1）上还设置有龙门机构（2），所述龙门机构（2）上分别设置有用于对工作台面（6）进行曝光以及标定的曝光系统（4）和视觉标定系统（5）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州欣俊哲微纳科技有限公司 一种单工作台面运动平台及LDI曝光机
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