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申请/专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
摘要：一种LDI整板标定装置，包括吸盘面，其用于放置基板；标定尺，其横跨于吸盘面的侧壁并相对于吸盘面的端面平行移动，标定尺包括能够变色的复写材料在曝光后能够显示成像图案；成像系统，用于对基板或标定尺进行曝光成像；对准系统，用于抓取标定尺上变色的图形。本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，在原有的激光直接成像系统中通过添加能够沿吸盘面平行移动的复写材料，通过带动标定尺运动到做板区域需要检测的位置，成像系统再将相应的图形曝光于变色复写材料上形成图案，再通过对准系统抓取变色的图形，将不同区域不同的误差数据记录并补偿进相应位置的图形数据，还可以设定固定的时间间隔进行设备自身标定并自动补偿。
主权项：1.一种LDI整板标定装置，其特征在于，包括：吸盘面（101），其用于放置基板；标定尺（104），其横跨于吸盘面（101）的侧壁并相对于吸盘面（101）的端面平行移动，标定尺（104）包括能够变色的复写材料在曝光后能够显示成像图案，并在一段时间后能够恢复原来状态；成像系统（300），用于对基板或标定尺（104）进行曝光成像；对准系统（400），用于抓取标定尺（104）上变色的图形。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏影速集成电路装备股份有限公司 一种LDI整板标定装置
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