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申请/专利权人：南京镭芯光电有限公司

摘要：本发明公开了一种判断MOCVD尾气管道堵塞的方法，步骤一：选择温度传感器，确保传感器能够适应尾气管道中的高温环境和化学腐蚀性；步骤二：在反应室腔体排气口支路的入口、出口、转弯处、变径处加装热电偶探测器，即温度传感器，安装位置分别为：第一安装段、第二安装段、第三安装段、第四安装段、第五安装段、第六安装段和第七安装段。本发明通过在在第一管道的第一安装段，第二管道的第二安装段处均绑定热电偶探测器，在第三管道的第三安装段，第四管道的第四安装段处均绑定热电偶探测器，在第五管道的第五安装段，第六管道的第六安装段，第七管道的第七安装段处均绑定热电偶探测器，可以实时监测反应室以下各支路的温度变化。

主权项：1.一种判断MOCVD尾气管道堵塞的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一：选择热电偶探测器，确保热电偶探测器能够适应尾气管道中的高温环境和化学腐蚀；步骤二：在反应室腔体排气口支路的入口、出口、转弯处、变径处加装热电偶探测器，即：在第一安装段（5a）、第二安装段（5b）、第三安装段（6a）、第四安装段（6b）、第五安装段（7a）、第六安装段（7b）和第七安装段（7c）分别安装第一热电偶探测器、第二热电偶探测器、第三热电偶探测器、第四热电偶探测器、第五热电偶探测器、第六热电偶探测器和第七热电偶探测器；所述第一安装段（5a）、第二安装段（5b）、第三安装段（6a）、第四安装段（6b）、第五安装段（7a）、第六安装段（7b）和第七安装段（7c）分别在第一管道（Y1）、第二管道（Y2）、第三管道（Y3）、第四管道（Y4）、第五管道（Y5）、第六管道（Y6）和第七管道（Y7）上；步骤三：用伴热带将第一管道（Y1）、第二管道（Y2）、第三管道（Y3）、第四管道（Y4）、第五管道（Y5）、第六管道（Y6）和第七管道（Y7）分别包装好，并将伴热带的加热温度设定在50℃-150℃之间；步骤四：采用焊接、螺丝固定或夹具中的一种方式将所述热电偶探测器安装在管道上，确保热电偶探测器与管道内壁紧密接触，以获得准确的温度数据；步骤五：热电偶探测器通过无线信号发射器与主机PLC连接，主机PLC内置数据采集系统、数据计算系统、温度分析系统以及报警系统；步骤六：主机PLC中的数据采集系统实时采集热电偶探测器的数据，并对数据进行数据清洗、数据转换、数据压缩，并将处理后的数据传递至数据计算系统，通过数据计算系统计算出第一热电偶探测器减去第二热电偶探测器的温差、第三热电偶探测器减去第四热电偶探测器的温差、以及第七热电偶探测器减去第五热电偶探测器和第六热电偶探测器的温度平均值后的温差；并生成数据报告，在主机PLC监控界面展示数据的变化趋势；步骤七：通过主机PLC中的温度分析系统查找异常波动或趋势，实时监控局部温度升高的情况、及尾气端管道的温差变化；管道正常时，管道温差小于等于1℃，若温差≥5℃时,表明管道存在堵塞或气流受限，即表明管道已经堵塞；具体的：温差＞5℃，则初步判断换热器已结垢，当温差＞7℃，则可判断换热器严重结垢；而当生长磷化铟体系材料温差大于5℃时，即判定管道堵塞，若生长砷化镓体系材料温差大于10℃时，即判定为管道堵塞；其它体系材料温差大于15℃即判定为堵塞；步骤八：通过主机PLC中的报警系统设定合理的报警阀值，一旦温度数据超过预设范围，立即触发报警，在主机PLC监控界面显示提示信息，使其在显示窗口变为红色，用以提醒监控者及时清理或更换管道；步骤九：通过主机PLC中的数据计算系统结合尾气流量、压力参数，更准确地判断堵塞的存在。

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