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申请/专利权人：华灿光电(苏州)有限公司
摘要：本公开提供了一种尾气排放系统，属于半导体生产技术领域。该尾气排放系统包括：控制单元、第一排放管、第二排放管、第一阀门组件、第二阀门组件和温度检测件；第一排放管的第一端和第二排放管的第一端分别与用于存储尾气的腔体连通，第一阀门组件连接在第一排放管上，第二阀门组件连接在第二排放管上；控制单元分别与第一阀门组件、第二阀门组件和温度检测件电性连接，温度检测件位于第一排放管的第二端的一侧，控制单元被配置为在温度检测件检测的温度超过设定阈值时，控制第一阀门组件关闭，且控制第二阀门组件开启。本公开能改善尾气排放时出现燃烧和闪爆的问题，提升尾气排放系统的安全性。
主权项：1.一种尾气排放系统，其特征在于，所述尾气排放系统包括：控制单元20、第一排放管31、第二排放管32、第一阀门组件41、第二阀门组件42和温度检测件50；所述第一排放管31的第一端和所述第二排放管32的第一端分别与用于存储尾气的腔体连通，所述第一阀门组件41连接在所述第一排放管31上，所述第二阀门组件42连接在所述第二排放管32上；所述控制单元20分别与所述第一阀门组件41、所述第二阀门组件42和所述温度检测件50电性连接，所述温度检测件50位于所述第一排放管31的第二端的一侧，所述控制单元20被配置为在所述温度检测件50检测的温度超过设定阈值时，控制所述第一阀门组件关闭，且控制所述第二阀门组件开启。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华灿光电(苏州)有限公司 尾气排放系统
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