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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要：本发明公开了一种用于MOCVD设备的双层晶圆承载装置及其冷却控制方法，罩体固定在MOCVD设备的腔室外，旋转轴贯穿在罩体内，旋转轴的下部与驱动电机的输出端连接，驱动电机固定在罩体侧部，旋转轴的顶部固定有水冷法兰，水冷法兰与承载盘连接固定，在驱动电机的驱动下，旋转轴带动水冷法兰旋转，进而实现承载盘转动；水冷法兰与承载盘之间设有相互连通的冷却循环流道，旋转轴内部设有循环水管，循环水管的一端与水冷法兰连通，循环水管的另一端与外部的冷却水源连通，冷却水流经循环水管和水冷法兰后进入承载盘内，以实现承载盘冷却。本发明具有结构紧凑、操作简单、自动化程度高、兼容性高且具备冷却功能等优点。
主权项：1.一种用于MOCVD设备的双层晶圆承载装置，其特征在于，包括：水冷法兰1、驱动电机3、循环水管5、承载盘6、旋转轴7和罩体8；所述罩体8固定在MOCVD设备的腔室外，所述旋转轴7贯穿在罩体8内，旋转轴7的下部与驱动电机3的输出端连接，驱动电机3固定在罩体8侧部，旋转轴7的顶部位于腔室内，且旋转轴7的顶部固定有水冷法兰1，水冷法兰1与承载盘6连接固定，在驱动电机3的驱动下，旋转轴7带动水冷法兰1旋转，进而实现承载盘6转动；所述水冷法兰1与承载盘6之间设有相互连通的冷却循环流道，旋转轴7内部设有循环水管5，所述循环水管5的一端与水冷法兰1连通，循环水管5的另一端与外部的冷却水源连通，冷却水流经循环水管5和水冷法兰1后进入承载盘6内，以实现承载盘6冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于MOCVD设备的双层晶圆承载装置及其冷却控制方法
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