龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了用于晶圆表面粒子层沉积的加工装置以及MOCVD设备，该加工装置包括：中心区域设置有喷射装置，用于喷射沉积粒子气流的盖板；具有环形结构的气体收集器，气体收集器的内部设置有气流通道，内壁上设置有和气流通道相连通的第一吸气孔，气体收集器用于收集气体收集器的环内的气流；设置在气体收集器的环内，用于承载晶圆的载盘；其中，盖板设置在气体收集器的一端，且气体收集器靠近盖板一侧的端部，与盖板的边缘部位可拆卸的相互封闭连接。本申请中盖板的边缘部位和气体收集器的端部直接可以进行可拆卸的封闭连接，避免污染气体从盖板和气体收集器之间的缝隙泄露流出，提升对污染气体收集的效果。
主权项：1.一种用于晶圆表面粒子层沉积的加工装置，其特征在于，包括：中心区域设置有喷射装置，用于喷射沉积粒子气流的盖板；具有环形结构的气体收集器，所述气体收集器的内部设置有气流通道，内壁上设置有和所述气流通道相连通的第一吸气孔，所述气体收集器用于收集所述气体收集器的环内的气流；设置在所述气体收集器的环内，用于承载晶圆的载盘；其中，所述盖板设置在所述气体收集器的一端，且所述气体收集器靠近所述盖板一侧的端部，与所述盖板的边缘部位可拆卸的相互封闭连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 用于晶圆表面粒子层沉积的加工装置及MOCVD设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号