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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要：本发明公开了一种用于MOCVD设备的晶圆传输装置及晶圆传输方法，装置包括：传输舱、过渡舱和手套箱；手套箱分别连接传输舱和过渡舱，装载晶圆的石墨盘依次在过渡舱、手套箱和传输舱之间流转传输；手套箱与传输舱的连接处设有用于装载石墨盘和晶圆的双层承载盘，且承载盘可自动旋转，传输舱内设有机械手，传输舱相对的两侧分别连接反应室，机械手用于实现石墨盘和晶圆在承载盘与反应室之间流转传输。本发明具有结构紧凑、操作简单、运动精度高等优点，实现了晶圆的全自动传输，利用可自动旋转的双层承载盘，可兼容多台反应室的晶圆传输，晶圆与石墨盘分离组合及上片均通过手套箱在工艺期间实现，显著提高了生产节拍。
主权项：1.一种用于MOCVD设备的晶圆传输装置，其特征在于，包括：传输舱1、过渡舱2和手套箱3；所述手套箱3分别连接传输舱1和过渡舱2，装载晶圆8的石墨盘依次在过渡舱2、手套箱3和传输舱1之间流转传输；所述手套箱3与传输舱1的连接处设有用于装载石墨盘和晶圆8的双层承载盘6，且承载盘6可自动旋转，所述传输舱1内设有机械手4，传输舱1相对的两侧分别连接反应室，所述机械手4用于实现石墨盘和晶圆8在承载盘6与反应室之间流转传输。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于MOCVD设备的晶圆传输装置及晶圆传输方法
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