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申请/专利权人：江苏实为半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种MOCVD轴心加热组件的退火工装，包括加热组件和固定组件，所述加热组件包括陶瓷夹具和内圈加热丝，所述内圈加热丝安装于陶瓷夹具内，所述陶瓷夹具包括中间板和侧板，所述内圈加热丝套接于中间板上，所述侧板设置有一对，且一对所述侧板分别设置于内圈加热丝的外侧；所述固定组件包括第一夹板和第二夹板。本发明通过陶瓷夹具对轴心加热组件进行支撑固定，同时陶瓷夹具与加热丝完全贴合，使得退火时导热性能更好；氮化硼陶瓷具有硬度低和便于加工特点，同时其具有优良的导热性和耐热性，使得对轴心加热组件退火过程中的保温效果更好，并且氮化硼的化学稳定性好，能抵抗大部分熔融金属的浸蚀，使得对轴心加热组件进行退火时稳定性好。
主权项：1.一种MOCVD轴心加热组件的退火工装，其特征在于，包括：加热组件，包括陶瓷夹具和内圈加热丝，所述内圈加热丝安装于陶瓷夹具内，所述陶瓷夹具包括中间板和侧板，所述内圈加热丝套接于中间板上，所述侧板设置有一对，且一对所述侧板分别设置于内圈加热丝的外侧；固定组件，包括第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和第二夹板均设置有多个，多个所述第一夹板和第二夹板用于对陶瓷夹具的夹持固定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏实为半导体科技有限公司 一种MOCVD轴心加热组件的退火工装
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