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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：提供了一种图像传感器。所述图像传感器包括：第一半导体芯片，包括具有像素单元的第一半导体基底、具有第一布线层的第一布线结构和第一接合垫；第二半导体芯片，包括具有第一表面和第二表面的第二半导体基底、在第一表面上的与第一布线结构接触且具有第二布线层的第二布线结构、接合到第一接合垫的第二上接合垫、以及连接到第二布线层且延伸到第二表面的过孔结构；接合层，包括在第二表面上的接合绝缘层和连接到过孔结构的第二下接合垫；以及第三半导体芯片，包括第三半导体基底、与接合绝缘层接触的第三布线结构和接合到第二下接合垫的第三接合垫。
主权项：1.一种图像传感器，所述图像传感器包括：第一半导体芯片，包括：第一半导体基底，具有像素单元，多个像素布置在像素单元中；第一布线结构，在第一半导体基底上，并且具有第一布线层；以及第一接合垫，暴露于第一布线结构的一个表面，并且连接到第一布线层；第二半导体芯片，包括：第二半导体基底，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面，像素信号生成器电路的多个晶体管中的至少一部分位于第一表面上；第二布线结构，在第二半导体基底的第一表面上，第二布线结构具有与第一布线结构的所述一个表面接触的一个表面，第二布线结构具有第二布线层；第二上接合垫，暴露于第二布线结构的所述一个表面，并且接合到第一接合垫；以及过孔结构，连接到第二布线层，并且延伸到第二半导体基底的第二表面；接合层，包括：接合绝缘层，在第二半导体基底的第二表面上；以及第二下接合垫，掩埋在接合绝缘层中，并且暴露于接合绝缘层的一个表面，第二下接合垫连接到过孔结构；以及第三半导体芯片，包括：第三半导体基底，具有一个表面，逻辑器件位于第三半导体基底的所述一个表面上；第三布线结构，在第三半导体基底的所述一个表面上，第三布线结构具有第三布线层，第三布线结构具有与接合绝缘层的所述一个表面接触的一个表面；以及第三接合垫，连接到第三布线层，并且暴露于第三布线结构的所述一个表面，第三接合垫接合到第二下接合垫。
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