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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：提供了衬底接合设备和衬底接合方法。衬底接合设备包括：衬底基座，支撑第一衬底；位于衬底基座上方的衬底保持器，保持第二衬底；衬底保持器包括多个可独立移动的保持指状物；以及腔室壳体，容纳衬底基座和衬底保持器。
主权项：1.一种衬底接合设备，包括：衬底基座，支撑第一衬底；在所述衬底基座上方的衬底保持器，保持第二衬底，所述衬底保持器包括多个保持指状物，并且所述多个保持指状物能够独立地移动；腔室壳体，容纳所述衬底基座和所述衬底保持器；距离传感器，测量所述第一衬底的边缘与所述第二衬底的边缘之间的距离；控制器，基于由所述距离传感器感测的距离来控制所述多个保持指状物；和多个保持指状物致动器，基于所述控制器的控制，分别定位所述多个保持指状物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 衬底接合设备和衬底接合方法
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