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申请/专利权人：FEI公司
摘要：用于高ROI的倒置薄片的支撑结构。用于感兴趣区域的TEM的具有薄区域的薄片包括限定腰部区域的相反定位的S形切割面。在一些示例中，该腰部具有小于25nm的厚度并且限定适于TEM的高度在400nm与800nm之间的双锥形区域。该薄片的在顶表面处的一部分可以包括用于支撑该薄片的金属涂层或其他涂层。
主权项：1.一种制备薄片的方法，所述方法包括：以第一角度和第一剂量将离子束引导至试样的后表面，以形成具有S形的第一切割面；以及以第二角度和第二剂量将所述离子束引导至所述试样的所述后表面，以形成具有第二S形的第二切割面，其中所述第一剂量和所述第二剂量被选择用于产生具有腰部的薄片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于高ROI的倒置薄片的支撑结构
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