申请/专利权人：青岛中科墨云智能有限公司

申请日：2023-09-22

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN221282039U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.07.05#授权

摘要：本实用新型公开一种半导体LED晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，包括分选机械设备、运动控制系统、真空气压转换机构、软件控制系统和移动底座装置；分选机械设备包括晶圆片工作台、料片工作台、摆臂吸嘴机构、晶圆片装卸载装置、料片装卸载装置；摆臂吸嘴机构包括摆臂工作台，摆臂工作台通过第一装配锁件连接在晶圆片工作台和料片工作台之间，摆臂工作台上设有综合支撑台，综合支撑台的侧端部上连接有用于固定真空气压转换机构的真空气压支撑架，综合支撑台的中部上设置有摆臂驱动电机组件，摆臂吸嘴机构连接在摆臂驱动电机组件的下端。该分选系统工作稳定，系统组装高效，移动维护方便，实用性高。

主权项：1.一种半导体LED晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，包括分选机械设备、运动控制系统、真空气压转换机构、软件控制系统和移动底座装置；分选机械设备包括晶圆片工作台、料片工作台、摆臂工作台、晶圆片装卸载装置、料片装卸载装置；摆臂工作台通过第一装配锁件连接在晶圆片工作台和料片工作台之间，摆臂工作台上设有综合支撑台，综合支撑台的侧端部上连接有用于固定真空气压转换机构的真空气压支撑架；所述晶圆片装卸载装置包括晶圆片承载台和设置在晶圆片承载台上的晶圆片安放柱台、晶圆片旋转支撑组件，晶圆片承载台下端依次连接有第一横向调节机构和第一纵向调节机构；第一纵向调节机构包括第一纵向左轨道、第一纵向中线性模组、第一纵向右轨道，第一纵向中线性模组上连接有第一纵向移动座；第一横向调节机构包括第一横向支撑顶座、连接在第一横向支撑顶座上端的第一横向前轨道、第一横向后轨道、第一横向中线性模组；第一横向支撑顶座的下端通过第一横向下伸板与第一纵向移动座连接，第一横向支撑顶座的下端通过第一纵向滑块与第一纵向左轨道、第一纵向右轨道连接；第一横向中线性模组通过第一横向移动座与晶圆片承载台连接，晶圆片承载台的下端通过第一横向滑块与第一横向前轨道、第一横向后轨道连接；所述晶圆片承载台包括晶圆片承载底座和晶圆片承载顶板架，晶圆片承载底座和晶圆片承载顶板架之间设置有晶圆片升降电机、晶圆片升降导向轴杆和晶圆片升降缓冲轴杆；晶圆片旋转支撑组件包括晶圆片旋转托板，晶圆片旋转托板通过晶圆片旋转支座设置在晶圆片安放柱台的前端；所述料片装卸载装置包括料片承载架、料片抓取机构、料片转动机构、第二横向移动机构和第二纵向移动机构，料片承载架的下端通过第二气动支撑机构连接在第二横向移动机构上；料片抓取机构包括装配式抓取支座、连接在装配式抓取支座上的抓取直线模组和连接在抓取直线模组上的抓取臂，抓取臂上连接有气动夹取组件；所述料片转动机构包括料片转动底板和料片转托板，料片转动底板上端通过料片转动升降气缸组件连接有料片转动顶板，料片转托板的前端通过托板转动组件连接在料片转动顶板的上端；所述运动控制系统括工业控制计算机、12台交流伺服电机和多个数字编码反馈器。

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