申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司

申请日：2024-05-06

公开（公告）日：2024-07-05

公开（公告）号：CN118288152A

主分类号：B24B9/06

分类号：B24B9/06;B24B55/06;B24B41/00;B24B49/00;B24B29/02;B24B55/00;H01L21/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要：本发明公开了一种无损夹持的晶圆片边缘研磨设备，包括防护框，该防护框用于对晶圆片加工位置飞溅的碎屑进行阻挡；还包括：输送带，该输送带用于对研磨前后的晶圆片进行运送，所述输送带固定连接在防护框外表面，所述防护框靠近输送带的位置固定连接有夹取臂，本发明涉及晶圆加工技术领域。该无损夹持的晶圆片边缘研磨设备，通过输送带与夹取臂在防护框上设置了两个，便于后续加工时对晶圆片进行持续输送，夹取臂在防护框上对输送带运送的原料进行夹取，防止晶圆片的夹持位置发生偏差导致晶圆片受到处理组件的研磨处理时出现损坏，从而确保晶圆片研磨后自身的洁净，避免晶圆片表面粘附碎屑导致晶圆片取放时出现划痕。

主权项：1.一种无损夹持的晶圆片边缘研磨设备，包括防护框（3），该防护框（3）用于对晶圆片加工位置飞溅的碎屑进行阻挡；其特征在于，还包括：输送带（1），该输送带用于对研磨前后的晶圆片进行运送，所述输送带（1）固定连接在防护框（3）外表面，所述防护框（3）靠近输送带（1）的位置固定连接有夹取臂（2）；研磨组件，该研磨组件用于对晶圆片的边缘位置进行研磨处理，所述研磨组件固定连接在防护框（3）底部；其中研磨组件，包括储液筒（8），该储液筒（8）固定连接在防护框（3）顶部，所述储液筒（8）用于对冲洗晶圆片的水流进行输送，所述储液筒（8）的底端连通有夹持组件（5），所述夹持组件（5）的底部转动连接有回收组件（4），所述回收组件（4）靠近夹持组件（5）的位置固定连接有处理组件（7），所述防护框（3）的内腔顶部固定连接有辅助组件（6）；所述处理组件（7）包括立板（76），该立板（76）固定连接在回收组件（4）顶部，所述立板（76）靠近夹持组件（5）的一侧固定连接有引导框（71），所述立板（76）靠近引导框（71）的一侧固定连接有配合板（75）；抛光辊（73），该抛光辊（73）滑动连接在配合板（75）顶部，所述抛光辊（73）用于对晶圆片进行研磨抛光，所述抛光辊（73）的两端转动连接有清理板（74），所述抛光辊（73）的靠近引导框（71）的位置固定连接有水平气缸（72）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市鼎力自动化科技有限公司 一种无损夹持的晶圆片边缘研磨设备

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