首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种LPCVD冷阱装置 

申请/专利权人:赛姆柯(苏州)智能科技有限公司

申请日:2023-11-28

公开(公告)日:2024-07-02

公开(公告)号:CN221244020U

主分类号:B01D8/00

分类号:B01D8/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.02#授权

摘要:本实用新型涉及一种LPCVD冷阱装置,包括罐体、冷却盘管、过滤部件,罐体上开设有进气口、出气口,罐体的两端中至少一个通过法兰密封,过滤部件设置在罐体内,过滤部件截面呈环形;冷却盘管包括内冷却管、外冷却管以及连接冷却管,连接冷却管与内冷却管一端、外冷却管一端均连通,内冷却管设置在过滤部件的内侧,外冷却管设置在过滤部件的外侧,内冷却管另一端、外冷却管另一端均延伸至罐体外,内冷却管另一端、外冷却管另一端中一个用于与冷却介质供送单元连接,另一个为出液端。本实用新型提供的装置,通过设置冷却盘管和过滤部件,使废气快速凝结在罐体内部,使粉尘沉淀在罐体底部和过滤部件上,提高真空泵的使用寿命,降低成本。

主权项:1.一种LPCVD冷阱装置,其特征在于,包括罐体、冷却盘管、具有滤出孔的过滤部件,所述的罐体上开设有进气口、出气口,所述的罐体具有相对的两端,所述的罐体的两端中至少一个通过法兰密封,所述的过滤部件设置在所述的罐体内,所述的过滤部件截面呈环形;所述的冷却盘管包括内冷却管、外冷却管以及连接冷却管,所述的连接冷却管与所述的内冷却管一端、外冷却管一端均连通,所述的内冷却管设置在所述的过滤部件的内侧,所述的外冷却管设置在所述的过滤部件的外侧,所述的内冷却管另一端、外冷却管另一端均延伸至所述的罐体外,所述的内冷却管另一端、外冷却管另一端中一个用于与冷却介质供送单元连接,另一个为出液端。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 赛姆柯(苏州)智能科技有限公司 一种LPCVD冷阱装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。