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一种微机电传感器件测试装置 

申请/专利权人:美新半导体(无锡)有限公司

申请日:2023-10-10

公开(公告)日:2024-07-02

公开(公告)号:CN221259925U

主分类号:G01D18/00

分类号:G01D18/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.07.02#授权

摘要:本实用新型提供一种微机电传感器件测试装置,其包括测试装置本体,测试装置本体包括:待测样品放置区,其用于放置N个微机电传感器件;通信切换单元,其包括第一输入端、第二输入端、第三输入端、第一输出端、第二输出端、第三输出端和受控端,第一输入端与微机电传感器件的SDI端子电连接;第二输入端与待测微机电传感器件的CS端子电连接;第三输入端与微机电传感器件的SDO端子电连接;SPI接口,其SCK时钟输入端与微机电传感器件的SCK端子电连接,其从设备信号输入端、片选端和从设备信号输出端分别与第一输出端、第二输出端和第三输出端电连接。与现有技术相比,本实用新型在仅有四线SPI主控设备的条件下,可以兼容SPI三线及四线通信功能的测试。

主权项:1.一种微机电传感器件测试装置,其特征在于,其包括测试装置本体,所述测试装置本体包括:待测样品放置区,其用于放置N个微机电传感器件,其中,N为正整数,所述N个微机电传感器件均设置有四线SPI信号端子,所述四线SPI信号端子包括SCK端子、SDI端子、CS端子和SDO端子;通信切换单元,其用于三四线SPI通信切换,其包括第一输入端、第二输入端、第三输入端、第一输出端、第二输出端、第三输出端和受控端,所述第一输入端与所述N个微机电传感器件的SDI端子电连接;所述第二输入端与所述N个微机电传感器件中待测微机电传感器件的CS端子电连接;所述第三输入端与所述N个微机电传感器件的SDO端子电连接;SPI接口,其包括SCK时钟输入端、从设备信号输入端、片选端和从设备信号输出端,所述SCK时钟输入端与所述N个微机电传感器件的SCK端子电连接;所述从设备信号输入端与所述第一输出端电连接,所述片选端与所述第二输出端电连接,所述从设备信号输出端与所述第三输出端电连接,其中,所述通信切换单元受控在第一输出状态及第二输出状态间切换,当所述通信切换单元处于第一输出状态时,所述第一输入端连通所述第一输出端;所述第二输入端连通所述第二输出端;所述第三输入端连通所述第三输出端;当所述通信切换单元处于第二输出状态时,所述第一输入端断开与所述第一输出端的连通且所述第一输入端连通所述第三输出端;所述第二输入端断开与所述第二输出端的连通且所述第二输入端接地;所述第三输入端断开与所述第三输出端的连通且所述第三输入端配置为高阻状态。

全文数据:

权利要求:

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