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申请/专利权人：迈康尼股份公司
申请日：2022-11-15
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118215889A
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20;G02F1/33;G02F1/29
优先权：["20211116 EP 21208381.0"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：一种扫描光刻激光写入器1，包括基底支架60、照射装置2和控制单元40。该照射装置具有激光源10、多头调制器装置4和至少两个写入头装置50。照射装置被布置用于经由多头调制器装置向写入头装置提供激光以照射基底平面。所述控制单元被配置用于控制基底支架60和所述写入头装置之间的相对机械位移，并且用于控制从其出射的激光的扫掠。多头调制器装置被配置为通过使用声光晶体将输入光束分离并调制为用于每个写入头装置的至少一个调制光束。写入头装置被定位成使从写入头装置离开的激光相对于彼此移位。
主权项：1.一种扫描光刻激光写入器1，包括:-基底支架60，具有用于将具有激光敏感表面64的基底62保持在基底平面中的附着装置；-照射装置2；所述照射装置2具有激光源10；其中所述照射装置2被布置用于提供来自所述激光源10的激光来照射所述基底平面；和-控制单元40，其特征在于，所述照射装置2还具有多头调制器装置4和m个写入头装置50，其中m≥2；所述照射装置2被设置用于将来自所述激光源10的所述激光经由所述多头调制器装置4提供给所述m个写入头装置50以照射所述基底平面；所述控制单元40被配置用于控制所述基底支架60和所述m个写入头装置50之间在平行于所述基底平面的至少一个扫描方向X上的相对机械位移；所述控制单元40被配置用于控制从所述m个写入头装置50出射的激光在平行于所述基底平面并横向于所述扫描方向X的扫掠方向Y上的扫掠；其中，所述多头调制器装置4被配置成通过使用声光晶体27将源自所述激光源10的输入光束5分离并调制成用于所述m个写入头装置50中的每一个的n个调制光束7，其中n≥l；其中，所述m个写入头装置50被定位成使得从所述m个写入头装置50中的每一个射出的激光在扫掠方向Y上相对于彼此偏移预定的非零距离ΔY。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈康尼股份公司 多头扫描光刻激光写入器
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