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申请/专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
申请日：2024-02-27
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118226714A
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20;G03F9/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明提供一种套刻误差测量装置及方法，该装置包括载物台、物镜、第一分光镜、第一筒镜、用于扫描取图的TDI线扫相机、第二筒镜、用于点对点量测的面阵相机、处理器及载物台控制器，其中，第一分光镜、第一筒镜与TDI线扫相机沿物镜的光轴依次设置，第一分光镜的第一光轴与物镜的光轴重合，第二筒镜与面阵相机沿第一分光镜的第二光轴依次设置，处理器连接TDI线扫相机与面阵相机，用于处理图像及发出控制指令，载物台控制器连接载物台及处理器，用于控制载物台的移动。本发明的套刻误差测量方法采用该装置进行套刻误差测量，可以提高图像信噪比，同时对载物台的点对点运动性能要求降低、对移动速度要求降低，且有利于节省测量时间。
主权项：1.一种套刻误差测量装置，其特征在于，包括：载物台，用于装载晶圆；物镜，位于所述载物台上方；第一分光镜、第一筒镜与用于扫描取图的TDI线扫相机，沿所述物镜的光轴依次设置，所述第一分光镜的第一光轴与所述物镜的光轴重合；第二筒镜与用于点对点量测的面阵相机，沿所述第一分光镜的第二光轴依次设置；处理器，连接所述TDI线扫相机与所述面阵相机，用于处理图像及发出控制指令；载物台控制器，连接所述载物台及所述处理器，用于控制所述载物台的移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 睿励科学仪器(上海)有限公司 一种套刻误差测量装置及方法
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