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一种新型干刻腔室内阳极壁板 

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申请/专利权人:信利(仁寿)高端显示科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种新型干刻腔室内阳极壁板,包括上部电极腔体、下部电极腔体,上部电极腔体与下部电极腔体通过橡胶圈连接组成干刻设备腔室,其组成的干刻设备腔室的内部设置有上部电极壁板与下部电极壁板,上部电极壁板设置于下部电极壁板分别设置在上部电极腔体与下部电极腔体的腔壁上,下部电极壁板与上部电极壁板相互延伸并形成错位相接,并将遮挡橡胶圈。通过改变上部电极腔体和下部电极腔体内部上部电极壁板与下部电极壁板的结构,使上部电极壁板和下部电极壁板延伸并形成错位相接,将原本橡胶圈暴露的位置,进行遮挡,降低橡胶圈接触等离子体,达到保护橡胶圈腐蚀,以及防止腐蚀掉落的橡胶圈碎屑掉在产品上。

主权项:1.一种新型干刻腔室内阳极壁板,其特征在于,其包括上部电极腔体(1)、下部电极腔体(2),所述上部电极腔体(1)与所述下部电极腔体(2)通过橡胶圈(3)连接组成干刻设备腔室,其组成的干刻设备腔室的内部设置有上部电极壁板(4)与下部电极壁板(5),所述上部电极壁板(4)设置于所述下部电极壁板(5)分别设置在所述上部电极腔体(1)与所述下部电极腔体(2)的腔壁上,所述下部电极壁板(5)与所述上部电极壁板(4)相互延伸并形成错位相接,并将遮挡所述橡胶圈(3)。

全文数据:

权利要求:

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