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一种集成式BAW滤波器和制造集成式BAW滤波器的方法 

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申请/专利权人:深圳新声半导体有限公司

摘要:本申请实施例的目的是提供一种集成式BAW滤波器和制造集成式BAW滤波器的方法。本申请实施例的集成式BAW滤波器包括衬底和集成在所述衬底上的多个BAW滤波器;其中,每个BAW滤波器分别包括压电层、上电极层和下电极层,所述上电极层被设置于所述压电层的上方,所述下电极层被设置于所述压电层的下方。本申请实施例具有以下优点:实现了将多个BAW滤波器集成在一个芯片上,从而能够一次完成对多个BAW滤波器产品的流片测试,提升了效率,节省了成本,缩短了滤波器产品的开发周期,并且提升了滤波器器件的稳定性。

主权项:1.一种集成式BAW滤波器,其特征在于,所述集成式BAW滤波器包括衬底和集成在所述衬底上的多个BAW滤波器;其中,每个BAW滤波器分别包括压电层、上电极层和下电极层,所述上电极层被设置于所述压电层的上方,所述下电极层被设置于所述压电层的下方。

全文数据:

权利要求:

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