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摘要：本申请实施例的目的是提供一种BAW滤波器及其制造方法。本申请实施例的BAW滤波器包括衬底、围栏层、压电层、上电极层、下电极层和目标结构；其中，所述围栏层被设置于所述衬底之上；其中，所述压电层被设置于所述围栏层的上方；其中，所述上电极层被设置于所述压电层的上方，所述下电极层被设置于所述压电层的下方；其中，所述目标结构包括以下至少任一种结构：温度补偿结构；空气环结构；空气桥结构。本申请实施例具有以下优点：通过在BAW滤波器中设置温度补偿结构、空气环结构和空气桥结构中的至少任一种，降低了温度变化对器件性能的影响，减少了电极表面横波能量损耗，提高了BAW滤波器的品质因数Q值。
主权项：1.一种BAW滤波器，其特征在于，所述BAW滤波器包括衬底、围栏层、压电层、上电极层、下电极层和目标结构；其中，所述围栏层被设置于所述衬底之上；其中，所述压电层被设置于所述围栏层的上方；其中，所述上电极层被设置于所述压电层的上方，所述下电极层被设置于所述压电层的下方；其中，所述目标结构包括温度补偿结构、空气环结构和空气桥结构，通过设置温度补偿结构使得BAW滤波器具有负温度系数的薄膜；其中，温度补偿结构和空气环结构的厚度一致；其中，温度补偿结构为温补层，所述温补层被设置在所述上电极层和压电层之间；其中，所述空气环结构形成于所述上电极层的边缘和压电层之间，所述空气桥结构被设置在所述上电极层和压电层之间；其中，所述围栏层、所述压电层和下电极层之间具有空腔；其中，所述空气桥结构在所述衬底平面上的正投影与围栏层和空腔在所述衬底平面上的正投影有重叠。
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