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集成电路器件 

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申请/专利权人:三星电子株式会社

摘要:提供了一种集成电路器件。所述集成电路器件包括设置在基底上的第一导电图案、围绕第一导电图案的一部分并覆盖第一导电图案的侧壁的下部的第二导电图案、在第一导电图案和第二导电图案上的上绝缘结构、以及穿透上绝缘结构并在竖直方向上延伸的上导电图案,其中,上导电图案包括主插塞部分和竖直延伸件,主插塞部分在竖直方向上与第一导电图案和第二导电图案叠置,竖直延伸件从主插塞部分的一部分朝向基底延伸,覆盖第一导电图案的上侧壁的上部,并且在竖直方向上与第二导电图案叠置,虚设接触件形成在基底上的单扩散间断区域上。

主权项:1.一种集成电路器件,所述集成电路器件包括:第一导电图案,在基底上;第二导电图案,围绕第一导电图案的一部分,并且覆盖第一导电图案的侧壁的下部;上绝缘结构,在第一导电图案和第二导电图案上;上导电图案,穿透上绝缘结构,并且在竖直方向上延伸,上导电图案包括:主插塞部分,在竖直方向上与第一导电图案和第二导电图案叠置;以及竖直延伸件,从主插塞部分朝向基底延伸,竖直延伸件覆盖第一导电图案的侧壁的上部并且在竖直方向上与第二导电图案叠置;以及虚设接触件,在基底上的单扩散间断区域上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三星电子株式会社 集成电路器件

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