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申请/专利权人：三星电子株式会社
摘要：提供了集成电路装置。所述集成电路装置包括：基底，包括多个有源区域，所述多个有源区域包括第一有源区域和与第一有源区域相邻的第二有源区域；位线，在基底上沿水平方向延伸；第一直接接触件，连接到第一有源区域；第二直接接触件，位于第一直接接触件与位线之间；内氮化物膜，连接到第一直接接触件的侧壁和第二直接接触件的侧壁；隔离膜，位于第一有源区域与第二有源区域之间；以及外氧化物膜，连接到第二有源区域的至少一个表面，并且位于内氮化物膜与第二有源区域之间。
主权项：1.一种集成电路装置，所述集成电路装置包括：基底，包括多个有源区域，其中，所述多个有源区域包括第一有源区域和与第一有源区域相邻的第二有源区域；位线，在基底上沿水平方向延伸；第一直接接触件，连接到第一有源区域；第二直接接触件，位于第一直接接触件与位线之间；内氮化物膜，连接到第一直接接触件的侧壁和第二直接接触件的侧壁；隔离膜，位于第一有源区域与第二有源区域之间；以及外氧化物膜，连接到第二有源区域的至少一个表面，并且位于内氮化物膜与第二有源区域之间。
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