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申请/专利权人：苏州中科重仪半导体材料有限公司

摘要：本发明提供一种MOCVD设备的尾气过滤器结构和使用方法，涉及过滤器结构技术领域，包括MOCVD反应室，所述MOCVD反应室通过管道连接有过滤装置，所述过滤装置通过管道连接有压力调节阀，所述压力调节阀通过管道连接有真空抽气泵，当第一过滤器的压力过大之后，打开出气管内部的阀门，其中外筒内部左端的气体会有一部分进入第二过滤器内部进行过滤净化处理，从而实现第一过滤器与第二过滤器相互辅助使用，从而提高整体的过滤效率。

主权项：1.一种MOCVD设备的尾气过滤器结构，其特征在于：包括MOCVD反应室，所述MOCVD反应室通过管道连接有过滤装置，所述过滤装置通过管道连接有压力调节阀，所述压力调节阀通过管道连接有真空抽气泵；所述过滤装置包括外壳（1），所述外壳（1）内部的一端安装有冷却组件（2），所述外壳（1）内部的中间位置设置有分隔组件（3），所述分隔组件（3）的一端安装有配合冷却组件（2）使用的两组安装组件（4），两组所述安装组件（4）分别与第一过滤器（6）和第二过滤器（8）配合使用，所述外壳（1）的上端转动安装有用于驱动分隔组件（3）旋转的驱动组件（5），所述安装组件（4）与分隔组件（3）之间安装有复位弹簧（7）；所述冷却组件（2）包括固定安装于外壳（1）内部的安装块（201），所述安装块（201）的一侧外壁为弧形面，所述安装块（201）的另一侧外壁开设有扇形槽（202），所述扇形槽（202）与安装块（201）相对应的端面之间设置有螺旋面（203），所述安装块（201）位于弧形面的一侧开设有腔体，所述安装块（201）位于弧形面的连通有进水管（204）和出水管（205），所述进水管（204）和出水管（205）分别与冷水箱的进水端和出水端连接；其中一个所述安装组件（4）包括与第一过滤器（6）配合使用的密封圆板（401），所述密封圆板（401）的中间位置固定设置有与分隔组件（3）滑动连接的导向杆（404），所述密封圆板（401）远离导向杆（404）的一端中间位置固定设置有锥形块（402），所述锥形块（402）和导向杆（404）的内部开设有导流腔（405），所述密封圆板（401）外壁与锥形块（402）同侧固定设置有第一托板（403）。

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