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五金工具产品及配附件制造技术
一种玻璃载板深孔金属化镀膜方法
本发明涉及玻璃通孔加工技术领域,尤其涉及一种玻璃载板深孔金属化镀膜方法,包括:对玻璃载板进行通孔处理,超声清洗,干燥得到预处理玻璃载板;预处理玻璃载板的一侧标记为A面,预处理玻璃载板的另一侧标记为B面;在A面粘贴胶带,再对B面进行磁控溅射镀...
一种高防腐耐磨硬质的非晶多层涂层及其制备方法
本发明公开了一种高防腐耐磨硬质的非晶多层涂层及其制备方法,非晶多层涂层包括:CrAl过渡层;CrN/CrAlN非晶主体层,沉积在所述CrAl过渡层上,其中,所述CrN/CrAlN非晶主体层是CrN层与CrAlN层交替沉积形成,所述CrN层和...
一种镀AL层的晶圆PAD层结构
本实用新型提供一种镀AL层的晶圆PAD层结构,其包括PAD层和AL层,所述PAD层包括基板层和金属层,所述金属层包括钛层,所述金属层表面镀有AL层,所述AL层包括第一含AL层和第三含AL层,所述第一含AL层的材料选自铝和/或铜,所述第一含A...
阴阳离子共掺杂的热敏材料及其制备方法、微测辐射热计
本发明提供了一种阴阳离子共掺杂的热敏材料及其制备方法,该方法包括如下步骤:S1、将金属钒颗粒与阳离子掺杂金属M颗粒熔融锻造,得到合金靶材;S2、将合金靶材在惰性气体和氮氧化物的混合气氛下进行反应溅射,获得中间体材料;S3、在含氮氧化物气氛下...
钨铜复合材料表面涂层及其制备方法
本发明公开钨铜复合材料表面涂层的制备方法,包括以下步骤:步骤1、以钨铜复合材料为基体,对钨铜基体表面进行打磨处理;步骤2、粘结层的制备,利用电泳沉积的方法将带电的粘结层用金属粉末均匀沉积在打磨后的基体表面,干燥处理后,对其进行热等静压处理;...
一种在不锈钢表面磁控溅射耐高温氧化Ti-Mo复合涂层的方法
一种在不锈钢表面磁控溅射耐高温氧化Ti‑Mo复合涂层的方法,它涉及表面磁控溅射涂层的方法。本发明要解决现有304不锈钢涂层耐高温氧化性不佳的问题。方法:一、基底清洗及靶材溅射预处理;二、涂层沉积。本发明用于在不锈钢表面磁控溅射耐高温氧化Ti...
固体汽化器
汽化器容器包括一或多个试剂支撑面板,所述试剂支撑面板在竖直定向上,例如当填充所述汽化器容器时,用作所述容器的内部空间的分隔物,而当旋转到水平定向时,所述面板支撑置于由所述面板和所述容器的内壁形成的一或多个腔室中的可汽化固体材料并能够将热量转...
一种镁合金表面多层防腐涂层及其制备方法
本发明涉及防腐涂层技术领域,具体涉及一种镁合金表面多层防腐涂层及其制备方法。多层防腐涂层包括Zr层和Ta/ZrN多层结构层;Zr层沉积在基底表面;Ta/ZrN多层结构层包括交替沉积在Zr层表面的Ta层和ZrN层;Ta层和ZrN层的厚度比为1...
一种连续生产用原子层沉积设备
本发明公开了一种连续生产用原子层沉积设备,涉及原子层沉积技术领域。本发明包括沉积设备本体,所述沉积设备本体的顶部固定安装有沉积腔室和离子清洗腔室,所述沉积腔室和所述离子清洗腔室的内部相连通,所述沉积腔室和所述离子清洗腔室的底部内壁均固定安装...
隔热玻璃、天幕结构、汽车及制备方法
本申请涉及玻璃技术领域,具体涉及一种隔热玻璃、天幕结构、汽车及制备方法,隔热玻璃包括衬底以及设置在衬底上的功能层,功能层包括至少一组隔热功能层,隔热功能层包括隔热层和介质钝化层,通过至少一组隔热功能层的设置,可以在实现高透光率的同时,提升隔...
一种低温低气压制备YBCO纳米线的方法
本发明的目的在于提供一种低温低气压制备YBCO纳米线的方法,属于单光子探测技术领域。该方法采用电感耦合等离子体反应离子刻蚀(ICP‑RIE)技术进行纳米线制备。采用本发明方法制备YBCO纳米线,纳米线厚度低至5nm,宽度可窄至68nm,并确...
二向色镜光学薄膜及其镀制方法
本发明提供一种二向色镜光学薄膜及其镀制方法,该二向色镜光学薄膜,改用三种薄膜材料,低折射率材料选用具有极好抗激光性能的SiO
2
,高折射率材料选用具有很高折射率的Ta
2
O
5
和深...
一种高密度等离子体化学气相沉积机台反应腔的清理方法
本发明公开了一种高密度等离子体化学气相沉积机台反应腔的清理方法,在反应腔内的晶圆承载装置上具有用于加载射频的陶瓷圆盘,晶圆承载装置外围设置有固定座,将陶瓷圆盘沿轴线方向抬起与晶圆承载装置产生第一间距;向反应腔内通入第一气体进行清洗处理;清洗...
一种用于CVD炉体的硅片舟承托机构
本申请提供了一种用于CVD炉体的硅片舟承托机构,硅片舟承托机构包括桨组件、炉盖,桨组件用于承托硅片舟且桨组件的第一端穿设于炉盖,炉盖内部设置有分配气路,炉盖还包括设置在周向侧面或外侧面的第一进气孔,炉盖朝向CVD炉体的内侧面设置有多个第一出...
一种微波等离子体化学气相沉积系统
本微波等离子体化学气相沉积系统,包括有:沉积室,设有水冷台;微波等离子激发机构,种子源,其特征在于,还包括有:氢燃料电池,供电端与所述种子源连接,用于向种子源供电;吸热制冷模块,设于所述氢燃料电池和水冷台之间,与所述氢燃料电池之间连通有吸热...
一种镀膜设备、系统及产品
本实用新型提供的一种、系统及产品,镀膜设备包括卷绕部、蒸发源和真空室,所述卷绕部和蒸发源设置于所述真空室内,所述卷绕部设置于真空室的上部、位于所述蒸发源的上方,所述蒸发源设置于所述真空室的下部、位于所述卷绕部的下方,所述真空室上设置有用于对...
溅射装置以及溅射方法
提供一种溅射装置以及溅射方法,能够稳定地形成高品质的膜。溅射装置具备能够在内部相互对置地配置靶材和基板的真空腔、能够与靶材电连接的直流电源、以及将从直流电源流到靶材的电流脉冲化的脉冲化单元,在真空腔内生成等离子体从而在基板上形成薄膜,溅射装...
一种真空镀膜机
本实用新型公开了一种真空镀膜机,属于真空镀膜技术领域,包括:由内壁和外壁组成的环形主腔体,所述环形主腔体的外壁开设有矩形槽体,矩形槽体的一侧安装有封堵件;环形主腔体的内部设有转动组件;所述环形主腔体的内部安装有多个靶材模块,所述环形主腔体的...
一种磁控溅射镀膜托盘
本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜托盘,包括底盘、固定盘和顶盘,所述固定盘两侧分别与顶盘连接,所述底盘与固定盘一侧的顶盘连接,所述底盘与固定盘和顶盘通过螺丝连接,底盘包括外圆和内圆A,所述外圆和内圆A通过连接杆A连接。本实用新型可通过在螺丝上...
一种脉冲电弧离子镀膜的在线检测系统及方法
本发明公开了一种脉冲电弧离子镀膜的在线检测系统及方法,系统包括:所述真空室内设有放置工件的工作台;工作台一侧设置有脉冲电弧离子源,所述工作台另一侧设有视觉相机;工控机电性控制脉冲电弧离子源和视觉相机动作,所述脉冲电弧离子源朝向工件释放离子脉...
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