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一种叶盘盘体防护装置
本发明属于航空发动机风扇/压气机技术领域,公开了一种叶盘盘体防护装置,所述盘体防护装置包括端盖、底座、长螺栓和螺母。所述端盖包括盖板,所述盖板中心设有与叶盘同心的端盖内孔,所述盖板外周设有端盖筒体,所述端盖筒体的第一轴向配合端面与所述叶盘的...
一种超高附着力的细线路金属网格结构及其制备方法
本发明公开了一种超高附着力的细线路金属网格结构及其制备方法,上述超高附着力的细线路金属网格结构包括PET基材;PET基材的正面从上到下依次贴设有保护层、铜层、活性涂层和预涂层;PET基材的背面从下到上依次贴设有保护层、铜层、活性涂层和预涂层...
一种连续热镀锌线锌液中铁含量稳定控制技术
本发明涉及镀锌板技术领域,且公开了一种连续热镀锌线锌液中铁含量稳定控制技术,包括如下步骤:对轧硬带钢进行表面处理,经过碱浸洗、碱刷洗、电解清洗、热水刷洗、热水漂洗处理,再经过退火处理后入锌锅镀锌,锌锅中液面按照1次/4h的频率捞渣,轧硬带钢...
一种镂空掩模电极沉积样品架及方法
本发明公开了一种镂空掩模电极沉积样品架及方法,包括连接托盘、可移动样品台和掩模版夹;滑轨连接件底部与X直线滑轨在X方向上滑动连接,样品台底部与滑轨连接件顶部在Y方向上滑动连接;滑轨连接件设置有X向贯穿螺孔,X调节螺杆螺纹一端安装在滑轨连接件...
一种溅射成膜可控掺杂工艺及镀膜装置
本发明提供了一种溅射成膜可控掺杂工艺及镀膜装置,涉及半导体镀膜技术领域。溅射成膜可控掺杂工艺包括:将基底和靶材放置在真空腔室内;向所述真空腔室内注入惰性气体和工艺气体;向所述真空腔室放电以使所述惰性气体电离;将具有有机金属化合物的气体通入所...
气相沉积装置以及薄膜生长方法
本发明提供一种气相沉积装置以及薄膜生长方法。所述气相沉积装置包括:反应腔;基座,设置于所述反应腔的底部,其上表面用于承载基片;顶盖,设置于所述反应腔的顶部,其设有气体喷淋机构,向所述反应腔提供至少一种反应气体;顶部内衬,位于所述顶盖的下部,...
一种硬质合金用亚微米晶陶瓷涂层及制备方法
本发明涉及硬质合金技术领域,具体涉及一种硬质合金用亚微米晶陶瓷涂层及制备方法,包括以下重量组分:高熔点氧化物60‑80份、高熔点碳化物10‑20份、硼化物15‑30份和氮化物20‑45份,通过采用高熔点氧化物、高熔点碳化物、硼化物和氮化物共...
一种基于磁控溅射加工的氧化锌掺杂薄膜加工设备
本发明涉及薄膜加工技术领域,尤其涉及一种基于磁控溅射加工的氧化锌掺杂薄膜加工设备,包括放卷室、处理室、磁控溅射室、蒸发室、冷却室和收卷室,所述磁控溅射室包括第一磁控镀膜辊、溅射靶座、溅射导向轮、第二磁控镀膜辊和溅射变向轮,所述溅射导向轮沿所...
一种功能性黑色硬质涂层及其制备方法
本发明公开了一种功能性黑色硬质涂层及其制备方法,通过电弧蒸发法,使用铝钛靶材,与氮气反应生成黑色涂层,得到功能性黑色硬质涂层。本发明采用钛铝靶材结合相对低电流、弱磁场,降低基材表面反应温度和能量,涂层温度相对低,得到单一涂层结构,且适用于任...
一种轻质合金构件表面纳米多层耐蚀涂层及制备方法
本发明公开了一种轻质合金构件表面纳米多层耐蚀涂层及制备方法,本发明属于轻质合金结构部件表面真空镀膜改性领域。本发明涉及一种轻质合金表面纳米复合多层Cr/CrN/CrSiN耐蚀涂层低温制备方法,具体是采用独特的同步HiPIMS脉冲偏压技术,利...
一种复合集流体及其制备方法和应用
本发明提供一种复合集流体及其制备方法和应用。所述复合集流体包括乙烯‑丙烯‑降冰片烯聚合物基膜层,以及分别设于所述乙烯‑丙烯‑降冰片烯聚合物基膜层两侧的金属层。本发明提供的复合集流体具备优异的均匀性、稳定性和电导率,同时耐高温性能、耐酸碱腐蚀...
沉积腔体的清洁方法
本发明为一种沉积腔体的清洁方法,包括以下步骤:首先将一吹扫气体输送至一沉积腔体内部,并通过一抽气泵抽出滞留在腔体内部的工艺后残留钼的前驱物。而后通过一氢电浆还原附着在沉积腔体的内表面上的副产物三氧化钼,并将沉积腔体内表面上的三氧化钼还原成为...
一种附带边缘密封遮挡功能的铝膜镀锌设备
本发明涉及薄膜电容器加工技术领域,具体为一种附带边缘密封遮挡功能的铝膜镀锌设备,包括喷金设备主体和控制器,所述喷金设备主体包括有进料区、干燥区、喷金区和清洁区,所述喷金设备主体内部安装有限位槽,所述喷金设备主体上方开设有开槽,所述开槽内部安...
一种用于输氢管道的涂层自修复方法和应用
本发明提供了一种用于输氢管道的涂层自修复方法及其应用。本发明提供的所述方法针对输氢管道的焊接区域(包括焊缝及焊接热影响区)外表面从内到外依次制备铝涂层、氧化铝涂层,构成自修复阻氢涂层;然后在输氢管道实际输氢过程中,向其中输送掺氧氢气,完成自...
一种航空发动机叶片盘抗冲刷涂层结构及其制备方法
本发明申请公开了一种航空发动机叶片盘抗冲刷涂层结构及其制备方法,该涂层结构包括与基体结合的过渡层、与过渡层结合的多个重复周期的交替层;所述交替层结构从基体到表面依次为Ti金属层、TiN陶瓷层、Zr金属层、ZrN陶瓷层,所述重复周期的次数n≥...
对称沉积装置
本实用新型公开一种对称沉积装置,用于对薄板卷材的正反双面进行同时沉积镀膜,其包括呈上下对称设置的两PECVD机构,两PECVD机构之间形成对薄板卷材的正反双面沉积镀膜的沉积腔,该沉积腔设有供薄板卷材贯穿持续性通过的通口;PECVD机构的电源...
一种超高真空多源共沉积装置及其工作方法
本发明公开了一种超高真空多源共沉积装置及其工作方法,包括超高真空磁力杆、束源炉、样品托、样品架和接电座;样品架和接电座由上而下依次套在超高真空磁力杆上,样品架上设置有多个呈环形排布的样品托,每个样品托上设置一个束源炉,多个束源炉顶部朝样品架...
用于管线吹扫的方法和系统
公开了用于在沉积设备和相关系统中吹扫的方法。本公开的实施例包括测量排气流中的前体残余物浓度,并且当排气流中的前体残余物浓度等于或低于参考前体残余物浓度时,结束吹扫。
一种利用透明木材与磁控溅射技术制备光电基底材料的方法
本发明旨在通过优化脱木质素过程,提供一种具有更高导电性和透光率、更稳定的透明木材基电致变色电极解决方案。具体而言,通过调控亚氯酸钠浓度、pH值和搅拌速率,实现了温和且高效的脱木质素过程,保留了纤维素骨架的完整性和强度;采用环氧树脂填充,增强...
一种适用于板状工件的化学气相沉积工艺及设备
本发明适用于化学气相沉积技术领域,提供了一种适用于板状工件的化学气相沉积工艺及设备。所述适用于板状工件的化学气相沉积工艺包括如下步骤:将板状工件放置在旋转料台上;在板状工件两表面的内侧分别形成气流通道,从侧边向所述气流通道进气;在所述气流通...
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