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一种旋转驱动装置及化学气相沉积设备
本发明提供一种旋转驱动装置及化学气相沉积设备,其中所述旋转驱动装置包括支撑筒,顶部用于支撑基片托盘,底部设置在旋转法兰上;所述支撑筒侧壁包括上侧壁和下侧壁以及设置在上侧壁和下侧壁之间的台阶面,下侧壁的直径大于上侧壁的直径;弹性件,其设置在台...
一种等离子熔覆粉末送粉器流动性调节机构
本实用新型提供了一种等离子熔覆粉末送粉器流动性调节机构,属于等离子熔覆技术领域。该等离子熔覆粉末送粉器流动性调节机构,包括送粉筒,送粉筒外壁法兰连接有粉末加热桶,送粉筒顶端设有盖板,并焊接有锁固机构,盖板通过锁固机构与送粉筒顶端固定连接,送...
一种高真空多源热蒸发镀膜设备
本发明公开了一种高真空多源热蒸发镀膜设备,涉及真空蒸发镀膜技术领域,包括镀膜筒,所述镀膜筒的右侧设置有真空泵,所述镀膜筒的上侧固定连接有多个电加热器,所述镀膜筒的下方设置有滚动输送机,所述滚动输送机的上侧设置有玻璃衬底,所述镀膜筒的左侧设置...
一种CoCrNi-TiC复合涂层及其制备方法
本发明涉及一种CoCrNi‑TiC复合涂层及其制备方法,属于涂层技术领域。本发明的制备方法,包括以下步骤:S1、将CoCrNi合金粉末和TiC颗粒进行混合,得到复合粉末;S2、通过激光熔覆技术,在金属衬底上将CoCrNi合金粉末、复合粉末交...
一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统
本发明提供一种真空高速率沉积旋转圆柱电弧镀膜源系统,包括旋转圆柱靶装置,引弧装置,可活动遮罩装置,主体与电控装置和匀气装置;旋转圆柱靶装置包括处于中间的磁轴和靶材;磁轴包括固定轴、固定压紧块、调节螺母座、固定螺杆、导磁板、磁棒、连接轴套、支...
转架系统和采用该转架系统的真空镀膜机
本实用新型涉及转架系统和采用该转架系统的真空镀膜机,其中所述转架系统的特别之处在于,其水平设置的公转件采用用于形成与外部隔离的内部环境的转架壳。本实用新型采用转架壳作为公转件,如此,自转轴及其驱动机构即可安装在壳腔内,从而与真空镀膜腔内的环...
一种提高大型核用不锈钢基材表面高温气体渗层均匀性的方法
本发明公开了一种提高大型核用不锈钢基材表面高温气体渗层均匀性的方法,包括以下步骤:一、将不锈钢基材表面浸泡后冲洗干净;二、表面处理,得到具有金属涂层的大型核用不锈钢基材;三、高温气体快速渗,得到具有高温气体渗层的大型核用不锈钢基材。本发明在...
一种应用在半导体化学镀镍钯金镀层的化学镀溶液加工工艺
本发明属于半导体加工技术领域,尤其公开了一种应用在半导体化学镀镍钯金镀层的化学镀溶液加工工艺,包括两个并列设置的底板,两个底板之间设置有溶液框,化学镀溶液处于溶液框的两个放置槽内部,所述底板顶部利用支杆固定有支板,且支板顶部固定有顶块,所述...
一种便于冷却的物理气相沉积装置
本实用新型涉及一种便于冷却的物理气相沉积装置,至少包括:转运腔体,转运腔体为中空的多棱柱,具有多个侧面,每个所述转运腔体的侧面设置有对应的至少一个输送通道;第一工艺腔体,位于转运腔体的第一侧面的外侧,通过输送通道与转运腔体的第一侧面连接;第...
一种自磨锐电推剪及其制备方法
本申请属于剪刀技术领域,尤其涉及一种自磨锐电推剪及其制备方法;本申请使用电弧离子镀工艺对电推剪刀头中定刀片和动刀片进行强化,强化后的定刀片和动刀片沉积了涂层,定刀片和动刀片的接触面第一刃面与第二刃面相交形成刃口切断毛发,并可以实现自磨锐,使...
一种加热组件及其半导体加工设备
本发明公开了一种加热组件及其半导体加工设备,加热组件设置在反应室上方,反应室用于处理晶圆,加热组件包含:内反射筒;多个热辐射装置,环绕内反射筒的外围设置,向晶圆提供热辐射;内反射筒的底部的高度低于热辐射装置的高度,以部分地阻挡反射热辐射;内...
一种改善管式PECVD气体均匀性的装置
本实用新型涉及晶硅太阳能电池生产技术领域,公开了一种改善管式PECVD气体均匀性的装置,其包括:中部进气管道,中部进气管道连接于双舟炉管顶部中心;中部进气管道的两个进气端分别与特气进气管道和氮气进气管道连接,中部进气管道的出气端正对双舟炉管...
均热板的制造方法、均热板及电子设备
本申请提供一种均热板的制造方法、均热板及电子设备,涉及散热器件制造技术领域。均热板的制造方法中,在获得均热板本体后,通过至少向均热板本体的腔体内注入含有强氧化剂的钝化液,可以促进均热板本体的内壁面充分氧化。之后,将均热板本体放置在承压炉内,...
工艺腔室及化学气相沉积设备
本申请提供了一种工艺腔室及化学气相沉积设备。该工艺腔室包括:腔室本体;加热器晶圆载盘,设置于腔室本体内,加热器晶圆载盘的工作面定义有预设加工区域;预设加工区域用于在加工过程中放置目标晶圆;电容式传感器,包括至少一对电容极板;电容极板设置于加...
立式pecvd设备
本实用新型提出了一种立式pecvd设备,包括外炉管、内炉管和加热源,外炉管内安装所述内炉管,外炉管与内炉管之间的两端分别设置炉盖组件和可开关的炉门,密封连接并穿过炉盖组件的多对电极,设置在炉管外部电连接所述电极的射频电源,每对电极与直通腔室...
路面沥青回收料精细化分离设备
本实用新型涉及沥青路面回收料分离设备技术领域,特别是涉及一种路面沥青回收料精细化分离设备,包括叠层式框架及设在叠层式框架一侧的原材料料仓,叠层式框架一端设有骨料提升机,原材料料仓和骨料提升机之间设有上料皮带输送机,上料皮带机的卸料端承接有预...
一种快速施工的钢混组合梁混凝土桥面板吊装装置
本实用新型公开了一种快速施工的钢混组合梁混凝土桥面板吊装装置,属于桥梁吊装技术领域,包括底板、吊机本体与安装板,所述吊机本体的底端通过多个第一加强板固定连接在安装板的中部,并且安装板通过多个螺栓固定安装在底板的中部,同时吊机本体的外部设置有...
用于电熔氧化镁破碎筛分生产环节的手自动控制系统
本发明涉及用于电熔氧化镁破碎筛分生产环节的手自动控制系统,包括:控制单元以及与其连接的执行机构和传感单元;所述执行机构包括第一变频器以及与其连接的第一电机、第二变频器以及与其连接的第二电机、第三电机;所述第一电机与电动给料装置中的下料仓连接...
一种晶体-非晶体复合的Zr-Si-O阻挡层材料及其制备方法、应用
本发明公开了一种晶体‑非晶体复合的Zr‑Si‑O阻挡层材料及其制备方法、应用,属于功能涂层材料技术领域。所述晶体‑非晶体复合的Zr‑Si‑O阻挡层材料包括氧化锆晶粒和非晶态SiO
2
,所述非晶态SiO
2
用于铁路检修的多功能平台车
本发明公开了一种用于铁路检修的多功能平台车,包括车体和安装在车体上的起重机,起重机的起重臂上安装有多功能连接装置,多功能连接装置包括用于安装作业工具的工具接头、转动安装在起重臂上的旋转座以及与旋转座相连用于驱动旋转座转动的旋转驱动件,工具接...
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