恭喜朗姆研究公司米格尔·本杰明·瓦斯克斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利静电卡盘滤波器箱及安装架获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112136208B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980033016.3,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权静电卡盘滤波器箱及安装架是由米格尔·本杰明·瓦斯克斯;杰里米·杰罗姆·普尔;达米安·马丁·斯莱文设计研发完成,并于2019-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电卡盘滤波器箱及安装架在说明书摘要公布了:使静电卡盘RF滤波器箱与基座升降器电耦合的设备与方法。该RF滤波器箱具有接触块以及位于该RF滤波器箱的外配合表面上的至少一对准特征。该接触块包含自对准电连接器,以及该对准特征被设置成将自对准电连接器与该基座升降器的架上的对应电连接器对准,使得在该接触块被安装至该基座升降器的该架上时,使该自对准电连接器与该基座升降器的该架上的该对应电连接器自动配合。
本发明授权静电卡盘滤波器箱及安装架在权利要求书中公布了:1.一种静电卡盘RF滤波器箱,其安装在基座升降器的架上以产生多个电连接件,所述RF滤波器箱包含:至少一接触块,其包含位于所述RF滤波器箱的配合表面上的多个自对准电连接器,其中所述配合表面为所述RF滤波器箱的外表面;以及至少一对准特征,其位于所述RF滤波器箱的所述配合表面上,其中所述至少一对准特征被设置成将所述自对准电连接器与所述基座升降器的所述架上的对应电连接器对准,使得在所述接触块被安装至所述基座升降器的所述架上时,所述自对准电连接器与所述基座升降器的所述架上的所述对应电连接器自动配合。
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