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摘要：本发明提供一种电容器及其制造方法，电容器的制造方法包括：提供一衬底；形成自下向上的下极板层、第一介质层和上极板层于所述衬底上；执行干法刻蚀工艺，以形成上极板，并刻蚀停止于所述第一介质层中；执行湿法刻蚀工艺，以去除所述上极板边缘下方暴露出的所述第一介质层；刻蚀所述下极板层，以形成下极板。本发明的技术方案能够提高电容器的可靠性。
主权项：1.一种电容器的制造方法，其特征在于，包括：提供一衬底；形成自下向上的下极板层、第一介质层和上极板层于所述衬底上；执行干法刻蚀工艺，以形成上极板，并刻蚀停止于所述第一介质层中；执行湿法刻蚀工艺，以去除所述上极板边缘下方暴露出的所述第一介质层；刻蚀所述下极板层，以形成下极板。
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百度查询： 武汉新芯集成电路股份有限公司 电容器及其制造方法
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