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摘要：本发明公开了一种利用多种场耦合分析熔石英激光抛光残余应力的方法，包括：通过构建的熔石英二氧化碳激光熔融抛光的等效热传导系数数值模拟分析获取熔石英激光抛光过程中各个时刻的温度场的步骤；通过构建的熔石英二氧化碳激光熔融抛光的等效结构弛豫时间常数数值模拟分析获取各个时刻表征熔石英结构的假想温度场的步骤；通过构建的冻结的温度场的等效热膨胀系数，数值模拟分析获取熔石英二氧化碳激光熔融抛光后的残余应力场的步骤。规避了熔石英二氧化碳激光熔融抛光涉及到的一系列复杂的物理过程的影响，简洁高效地实现了从熔石英激光抛光参数评估残余应力，尤其适用于对表面质量要求极高的熔石英元件激光抛光参数设计和残余应力控制。
主权项：1.一种利用多种场耦合分析熔石英激光抛光残余应力的方法，其特征在于，按照以下步骤进行：S1、根据熔石英假想温度深度分布实验测量值，构建熔石英二氧化碳激光熔融抛光的等效热传导系数，利用二氧化碳激光作为热源的热传导方程，通过数值模拟分析获取熔石英激光抛光过程中各个时刻的温度场；S2、根据熔石英假想温度深度分布实验测量值，构建熔石英二氧化碳激光熔融抛光的等效结构弛豫时间常数，利用假想温度表针的玻璃结构弛豫方程，耦合步骤S1获取的各个时刻的温度场，通过数值模拟分析获取各个时刻表征熔石英结构的假想温度场；S3、把假想温度场视为冻结的温度场，根据熔石英残余应力实验测量值，构建冻结的温度场的等效热膨胀系数，利用热弹性理论，耦合步骤S2获取的各个时刻表征熔石英结构的假想温度场，通过数值模拟分析获取熔石英二氧化碳激光熔融抛光后的残余应力场。
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百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种利用多种场耦合分析熔石英激光抛光残余应力的方法
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