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摘要：本发明涉及一种激光直写装置和激光直写方法，在光路传播方向上依次包括第一光源、光学衍射元件、多通道声光调制器、第一套筒透镜、第一物镜和第一刻写平台；所述光学衍射元件用于将所述第一光源发出的光束分成至少两束第一子光束，每束所述第一子光束的直径相等或者基本相等，并且所述第一子光束的直径小于所述第一物镜的入瞳孔径，所述多通道声光调制器用于调节每束所述第一子光束的光强。
主权项：1.一种激光直写装置，其特征在于，在光路传播方向上依次包括第一光源（1）、光学衍射元件（2）、多通道声光调制器（4）、第一套筒透镜（5）、第一物镜（6）和第一刻写平台（7）；所述光学衍射元件（2）用于将所述第一光源（1）发出的光束分成至少两束第一子光束，每束所述第一子光束的直径相等或者基本相等，并且所述第一子光束的直径小于所述第一物镜（6）的入瞳孔径，所述多通道声光调制器（4）用于调节每束所述第一子光束的光强。
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百度查询： 之江实验室 一种激光直写装置和激光直写方法
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