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摘要：本发明适用于半导体加工技术领域，更具体地说，是涉及一种石英窗及半导体加工设备，其中，石英窗位于加热灯与晶圆之间，晶圆放置于边缘环上，石英窗为板状结构，石英窗包括位于中间的第一板体和与第一板体周向边缘连接的第二板体，第一板体的各部厚度均相同，第二板体的厚度由靠近第一板体的一端至远离第一板体的一端逐渐减小，第一板体和第二板体靠近加热灯的一面处于同一水平面，其中，第二板体位于边缘环的边缘外部。通过改进石英窗的结构，解决了晶圆的边缘的卤素灯光源区域电压过高导致光源寿命极大缩短的问题，同时改善了晶圆的表面温度的均匀性，提高了晶圆的工艺结果。
主权项：1.一种石英窗，其特征在于，所述石英窗位于加热灯与晶圆之间，所述晶圆放置于边缘环上，所述石英窗为板状结构，所述石英窗包括位于中间的第一板体和与所述第一板体周向边缘连接的第二板体，所述第一板体的各部厚度均相同，所述第二板体的厚度由靠近所述第一板体的一端至远离所述第一板体的一端逐渐减小，所述第一板体和所述第二板体靠近所述加热灯的一面处于同一水平面，其中，所述第二板体位于所述边缘环的边缘外部。
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