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摘要:根据本公开的激光结晶装置可包括光源部、第一光学部、第二光学部、阻断部、第三光学部以及工作台。所述光源部可射出第一激光束。所述第一光学部可改变所述第一激光束的路径及大小而将所述第一激光束转换为第二激光束。所述第二光学部可将所述第二激光束分割而转换为分割激光束。所述分割激光束包括中心激光束和包围所述中心激光束的外围激光束,所述阻断部可阻断所述中心激光束中的至少一部分。所述第三光学部可改变所述分割激光束中通过所述阻断部的激光束的路径而将所述激光束转换为第三激光束。所述工作台可与所述第三光学部相对布置。所述第一光学部可基于照射所述在工作台上的所述第三激光束,改变所述第一激光束的所述路径及大小。
主权项:1.一种激光结晶装置,其中,包括:光源部:射出第一激光束;第一光学部,改变所述第一激光束的路径及大小而将所述第一激光束转换为第二激光束;第二光学部,将所述第二激光束分割而转换为分割激光束;阻断部,所述分割激光束包括中心激光束和包围所述中心激光束的外围激光束,所述阻断部阻断所述中心激光束中的至少一部分;第三光学部,改变所述分割激光束中通过所述阻断部的激光束的路径而将所述激光束转换为第三激光束;工作台,与所述第三光学部相对布置;以及测定部,与所述工作台相对布置,所述工作台包括安装基板的安装区域和所述安装区域周边的周边区域,在所述安装区域或所述周边区域定义使所述第三激光束入射的孔,所述第一光学部基于通过所述孔照射在所述测定部的所述第三激光束,改变所述第一激光束的所述路径及大小。
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